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EJM80DC-MB-03E -00 NPM-DX 3-6 -4 传送带 L 、传送带 R ■ 传送带 L(N-CONL) 、传送带 R(N-CONR) 前后侧 延长传送带 前后侧 ■ 延长传送带 基板传送皮带 基板检测传感器 基板传送皮带 基板检测传感器 滚珠花键 宽度调整滚珠丝杠 基板传送皮带 滚珠花键 宽度调整线性轴
EJM80DC-MB-03E-00
NPM-DX
基板传送带
各单元定期检查部位 2
＜各类型共同点＞
3-6-3
A/B基台 前后侧
工程师手册
3-6
基板传送皮带
基板检测传感器
基板支撑块
※基板检测传感器在轨道1、轨道2的投光侧、受光侧各
有6个。
基板传送皮带
线性导轨
宽度调整滚珠丝杠
宽度调整滚珠丝杠
线性导轨
EJM80DC-MB-03E-00
NPM-DX
3-6-4
传送带L、传送带R
■传送带L(N-CONL)、传送带R(N-CONR)
前后侧
延长传送带
前后侧
■延长传送带
基板传送皮带
基板检测传感器
基板传送皮带
基板检测传感器
滚珠花键
宽度调整滚珠丝杠
基板传送皮带
滚珠花键
宽度调整线性轴
EJM80DC-MB-03E-00
NPM-DX
各单元定期检查部位 3
＜各类型共同点＞
3-6-5
工程师手册
3-6
交换台车
编带切屑回收箱
多功能识别照相机V2
玻璃盖
A/B基台 前后侧
A/B基台 前后侧
供料器工作台
连接器