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EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX OFF SERVO ON 工程师手册 4 - 1 基板传送带的润滑脂 添加 2 4-1 -3 15 STOP 14 13 安装交换台车 ( → P.2 - 4) 11 12 ■ 轨道选择 A / B 8 安装供料器工作台 盖 ( → P.2 - 5) 10 9 ACTIV A TION ACTIV A TION ●事先确认基板 支撑块上不存 在支 撑销 。 ●使搬送传送带…
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NPM-DX
4-1-2
向基板传送带的宽度调整滚珠丝杠、线性导轨上供给润滑脂
7
顺序
8
轨道2右侧
轨道2左侧
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
线性导轨
*2)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
轨道1右侧
轨道1左侧
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
宽度调整滚珠丝杠
*1)
(润滑脂注入口)
*1)
滚珠丝杠的情形
●从润滑脂注入口(可动侧轨道) ，使用润滑脂枪添加。
各压出1次(约0.9 cm
3
)
●使用润滑脂: LCG100
*2)
线型导轨的情形
●在线型导轨的附近直接添加润滑脂。
目标的涂抹量是X轴约 0.5 cm
3
、Y轴约 1 cm
3
。
●使用润滑脂: LCG100
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NPM-DX
OFF SERVO ON
工程师手册
4-1
基板传送带的润滑脂添加 2
4-1-3
15
STOP
14
13
安装交换台车
(→P.2-4)
11
12
■轨道选择 A / B
8
安装供料器工作台
盖(→P.2-5)
10
9
ACTIVATION
ACTIVATION
●事先确认基板支撑块上不存在支
撑销。
●使搬送传送带的宽度调整轴连续
来回往返5次以上。
确认提示
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4-1-4