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EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX OFF SERVO ON 卸下交换台车 ( → P.2 - 4) 传送带的检查 1 4-6 -1 1 2 ( → 『 操作手册 』 P.3 -3- 4) 安装交换台车 ( → P.2 - 4) 11 9 10 3 工程师手册 4 - 6 OFF SERVO ON 基板传送皮带 的检查 ( Ａ 基台 、 B 基 台通用 ) 在这里对基板传送带 传送带 L 、 传送带 R 的…
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取下有破损的吸着垫圈
●为了稳定吸着元件，有的吸嘴有吸着垫圈。
当吸着垫圈有破损或裂纹时，请更换吸嘴垫圈或者吸嘴本体。
(1004吸嘴、1005吸嘴等)
装上新的吸着垫圈
清扫吸嘴交换器上面
●请勿在和吸嘴反射板的接触
面上留下灰尘。
●请确认挡板和吸嘴交换器的
空隙间没有夹住灰尘等异物。
吸嘴交换器
棉纱布
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OFF SERVO ON
卸下交换台车
(→P.2-4)
传送带的检查 1
4-6-1
1
2
(→『操作手册』P.3-3-4)
安装交换台车
(→P.2-4)
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工程师手册
4-6
OFF SERVO ON
基板传送皮带的检查 (Ａ基台、B基台通用)
在这里对基板传送带 传送带L、传送带R的检查方法进行说明。
使用工具: 皮带张力计 所需时间: 基板传送带: 5 分钟 传送带L、传送带R: 各2 分钟
将传送带宽度调
整为150 mm (为
了更有利于操作)
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将供料器工作台盖
倒向内侧。
(→P.2-5)
安装供料器工作台
盖 (→P.2-5)
检查皮带
把X轴往内推
皮带
滚轮
●用滚轮转动皮带，如果发现损伤、灰尘附着，或发生磨损、起毛
就进行更换。
●各轨道上有6 条。(参照下图)
可动侧
固定侧
可动侧
固定侧
轨道1侧
轨道2侧
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