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EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX OFF SERVO ON 基板检测传感器的清 扫 2 4- 10 -3 工程师手册 4 - 10 延长传送带 这里对基板 检测传感器器的清扫 方法进行说明 。 使用工具 : 棉棒 所 需时间 : 5 分 钟 1 卸下交换台车 ( → P.2 - 4) 2 3 将传送带宽度调整 为 150 mm ( → 『 操作手册 』 P.3 -3- 4) ●为了更有利于 操作 10 9…
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NPM-DX
4-10-2
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●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有12个
5
将供料器工作台盖
倒向内侧。(→P.2-
5)
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
A基台 B基台
基板检测传感器
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NPM-DX
OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 2
4-10-3
工程师手册
4-10
延长传送带
这里对基板检测传感器器的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
10
9
安装交换台车
(→P.2-4)
8
7
安装供料器工作台
OFF SERVO ON
EJM8DC-MB-04E-00
NPM-DX
4-10-4
4
5
将供料器工作台盖
倒向内侧。
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
6
清扫基板检测传感器部
●基板检测传感器 (透过型)
轨道1、2的投光侧、受光侧各有1个
●使用棉棒。
轨道2
基板检测传感器
(受光侧)
轨道2
基板检测传感器
(投光侧)
轨道1
基板检测传感器
(受光侧)
轨道1
基板检测传感器
(投光侧)
■在A基台侧设置了延长传送带时的、
传感器的位置