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EJM8D C - MB - 04E - 00 NPM - DX 4- 10 -4 4 5 将供料器工作台盖 倒向内侧。 ● 不要倚靠在供料器工 作台盖 上，也不要在上 面放置物品。 6 清扫基板检测传感器部 ● 基板检测传感器 ( 透 过型 ) 轨道 1 、 2 的投光 侧、受光侧各 有 1 个 ● 使用棉棒 。 轨道 2 基板 检测传感器 ( 受光侧 ) 轨道 2 基板 检测传感器 ( 投光侧 ) 轨道 1 基板 检测传感器 ( 受…
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NPM-DX
OFF SERVO ON
基板检测传感器的清扫 2
4-10-3
工程师手册
4-10
延长传送带
这里对基板检测传感器器的清扫方法进行说明。
使用工具: 棉棒 所需时间: 5 分钟
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
3
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
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安装交换台车
(→P.2-4)
8
7
安装供料器工作台
OFF SERVO ON
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NPM-DX
4-10-4
4
5
将供料器工作台盖
倒向内侧。
●不要倚靠在供料器工作台盖
上，也不要在上面放置物品。
6
清扫基板检测传感器部
●基板检测传感器 (透过型)
轨道1、2的投光侧、受光侧各有1个
●使用棉棒。
轨道2
基板检测传感器
(受光侧)
轨道2
基板检测传感器
(投光侧)
轨道1
基板检测传感器
(受光侧)
轨道1
基板检测传感器
(投光侧)
■在A基台侧设置了延长传送带时的、
传感器的位置
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NPM-DX
OFF SERVO ON
使用工具: 棉棒 所需时间: 2 分钟
传送带L、传送带R
基板检测传感器的清扫 3
4-10-5
工程师手册
4-10
3
2
1
将传送带宽度调整
为150 mm
(→『操作手册』P.3-3-4)
●为了更有利于操作
6
5
SERVO
ON
4
打开传送带的
上面盖
关闭传送带的
上面盖
清扫基板检测传感器部
●使用棉棒。
●基板检测传感器
轨道1、2的投光侧、受光侧各有2个
●步骤②和⑥的伺服开关请操作离所检查的传送带L、R近的伺服开关。
基板检测传感器