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EJM8D C - MB - 09E - 00 NPM - DX 模式的 切换 切换到单轨模式 2 工程师手册 9 - 2 - 1 15 安装交换台车 ( → P.2 - 4) 13 关闭安全盖 14 12 安装供料器工作台盖 伺服开关 ON 16 16 + 17 17 + ( 基板支撑块转为下降 状态 ) 确认提示 9-2-1 -3 18 18
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
10
取出基板支撑销
9
在多功能识别照相机上面蒙上棉纱
布
11
●请注意不要将灰尘落下及碰撞多功能识
别照相机 (LED照明上)。
取下盖在多功能识别照相机上的棉
纱布
●防止作业中杂物混入照相机透镜内
基板支撑销
8
请使供料器工作台盖倒向内侧
5
卸下交换台车
(→P.2-4)
7
6
伺服开关OFF
打开安全盖
9-2-1-2
4
+
(基板支撑块上升，并转为能够取下的
状态)
确认提示
4
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
模式的
切换
切换到单轨模式 2
工程师手册
9-2-1
15
安装交换台车
(→P.2-4)
13
关闭安全盖
14
12
安装供料器工作台盖
伺服开关ON
16
16
+
17
17
+
(基板支撑块转为下降状态)
确认提示
9-2-1-3
18
18
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
19
19
+
(将显示电源切断信息)
主电源开关置于OFF
9-2-1-4
20
OFF