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EJM8D C - MB - 09E - 00 NPM - DX 7 + 8 + ( 基板支撑块上升，并 转为安 装状态 ) 确认提示 确认提示 7 5 5 8 9-2-2 -2 6 6
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
模式的
切换
9-2-2-1
切换的确认 1
1
3
+
2
工程师手册
9-2-2
+
1
2
4
4
3
这里对切换完模式后，在单轨模式下进行确认的方法进行说明。
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
7
+
8
+
(基板支撑块上升，并转为安装状态)
确认提示
确认提示
7
5
5
8
9-2-2-2
6
6
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
9
卸下交换台车
(→P.2-4)
11
10
打开安全盖
12
请使供料器工作台盖倒向内侧
模式的
切换
切换的确认 2
工程师手册
9-2-2
伺服开关OFF
13
在多功能识别照相机上面蒙上棉纱
布
●防止作业中杂物混入照相机透镜内
9-2-2-3
用于轨道1
用于轨道2
间隙
前侧
用于轨道2
使用固定式基板支撑块时，请至步骤 。
使用基板支撑块
整体交換方式，或使用
支撑销自动交換的基板支撑块时，需要变更
基板支撑块的安装位置。
(请参考操作员使用的手册P.7-3-1。)
从双轨模式⇒单轨模式进行变更时。
(要从前侧进行作业)
• 因为用于轨道1的和用
于轨道2的基板支撑块
之间有间隙，所以要变更块的安装位置，
使其无间隙。
• 拆下内侧的块 (用于轨道
2的)。
• 将内侧的块 (用于轨道
2的) 向跟前侧的块
(用于轨道1的) 靠紧并安装好。
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