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EJM8D C - MB - 09E - 00 NPM - DX 9-2-2 -5 20 21 + ( 基板支撑块转为下降 到原点 的状态 ) 确认提示 22 + 对 A 基台、 B 基台两者 实施步骤 ～ 。 5 21 18 伺服开关 ON 19 安装交换台车 ( → 『 工程师手册 』 P.2 - 4) 模式的 切换 切换的确认 3 工程师手册 9 - 2 - 2 20 21 22
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
9-2-2-4
基板支撑销
后侧
用于轨道1
用于轨道2
无间隙
用于轨道2
17
关闭安全盖
15
安装供料器工作台盖
14
安装基板支撑销
16
取下盖在多功能识别照相机上的棉纱
布
●请注意不要将灰尘落下及碰撞多功能识
别照相机 (LED照明上)。
从单轨模式⇒双轨模式进行变更时。
(要从后侧进行作业)
• 因为用于轨道1的和用于轨道2的基板支撑块
之间无间隙，所以要变更快的固定位置，
使其产生间隙。
• 拆下跟前侧的块 (用于轨道
2的)。
• 将内侧的块 (用于轨道
1的) 从跟前侧的块
(用于轨道1的) 分离 (≒79 mm) 并安装好。
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20
21
+
(基板支撑块转为下降到原点的状态)
确认提示
22
+
对A基台、B基台两者
实施步骤 ～ 。
5 21
18
伺服开关ON
19
安装交换台车
(→『工程师手册』P.2-4)
模式的
切换
切换的确认 3
工程师手册
9-2-2
20
21
22
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NPM-DX
9-2-2-6