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EJM8D C - MB - 09E - 00 NPM - DX 9-2-2 -6
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
9-2-2-5
20
21
+
(基板支撑块转为下降到原点的状态)
确认提示
22
+
对A基台、B基台两者
实施步骤 ～ 。
5 21
18
伺服开关ON
19
安装交换台车
(→『工程师手册』P.2-4)
模式的
切换
切换的确认 3
工程师手册
9-2-2
20
21
22
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
9-2-2-6
EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
部件的
更换方法
基板传送带的
传送皮带的更换 1
工程师手册
9-3-1
9-3-1-1
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
前侧
3
OFF
传送带宽度需要
150~200 mm
(为了更有利于
操作)
(→『操作手册』
P.3-3-4)
8
卸下皮带
9
换上新皮带
号码
皮带长度(mm)
型号
A 990
N510060977AA
B 1293
MTNK000294AA
C 840
MTNK000292AA
固定侧
可动侧
可动侧
固定侧
轨道2侧
轨道1侧
A B C
C B C
C B A
C B C
C B C
A B C
C B A
C B C
对在前侧操作时的基板传送带的传送皮带的更换方法进行说明。
使用工具: 六角扳手 (2 mm) 所需时间: 30~60分钟
●往外拔，将其卸下。
●废弃时，使用钳子等切断
后卸下。
●皮带长度的构成，各个轨道、各个规格都为共通。
●请参照各轨道的皮带安装图 (→P.4-6)，将皮带挂到各卷盘上。
●有关皮带的正面、反面
正面: 无印文字
反面裏面: 有印文字
●安装皮带时，使皮带正面为基板传送面。