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EJM8D C - MB - 09E - 00 NPM - DX 9-3-1 -2 4 5 把 X 轴往内推 7 10 11 调整皮带张力 ( → P.4 - 6) 顺序 12 6 将供料器工作台 盖倒向内侧。 ● 不要倚靠在供料器工 作 台盖上,也不要 在上面 放置物品。 松开板的螺栓挪动板 ●请不要拆下托 板。 ●螺栓 托板 1: 3 处 托板 2: 2 处 托板 1 托板 2 ■长规格时 ■短规格时 ● 只限托板 1 。 ● 螺栓…

EJM8DC-MB-09E-00
NPM-DX
部件的
更换方法
基板传送带的
传送皮带的更换 1
工程师手册
9-3-1
9-3-1-1
1
卸下交换台车
(→P.2-4)
2
前侧
3
OFF
传送带宽度需要
150~200 mm
(为了更有利于
操作)
(→『操作手册』
P.3-3-4)
8
卸下皮带
9
换上新皮带
号码
皮带长度(mm)
型号
A 990
N510060977AA
B 1293
MTNK000294AA
C 840
MTNK000292AA
固定侧
可动侧
可动侧
固定侧
轨道2侧
轨道1侧
A B C
C B C
C B A
C B C
C B C
A B C
C B A
C B C
对在前侧操作时的基板传送带的传送皮带的更换方法进行说明。
使用工具: 六角扳手 (2 mm) 所需时间: 30~60分钟
●往外拔,将其卸下。
●废弃时,使用钳子等切断
后卸下。
●皮带长度的构成,各个轨道、各个规格都为共通。
●请参照各轨道的皮带安装图 (→P.4-6),将皮带挂到各卷盘上。
●有关皮带的正面、反面
正面: 无印文字
反面裏面: 有印文字
●安装皮带时,使皮带正面为基板传送面。

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NPM-DX
9-3-1-2
4
5
把X轴往内推
7
10
11
调整皮带张力
(→P.4-6)
顺序
12
6
将供料器工作台
盖倒向内侧。
●不要倚靠在供料器工作
台盖上,也不要在上面
放置物品。
松开板的螺栓挪动板
●请不要拆下托板。
●螺栓 托板1: 3处
托板2: 2处
托板1 托板2
■长规格时 ■短规格时
●只限托板1。
●螺栓: 3处
固定板
●螺栓 托板1: 3处
托板2: 2处
托板1 托板2
■长规格时
■短规格时
●只限托板1。
●螺栓: 3处

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工程师手册
9-3-1
9-3-1-3
基板传送带的
传送皮带的更换 2
13
ON
安装交换台车
(→ P.2-4)
14
15
12
安装供料器工作
台盖
部件的
更换方法
●在每个轨道的规格下的传送皮带的配置,记载在下一页上。在进行皮带的更换作业时,请复制或剪
切必要的页面灵活使用。
■关于传送皮带的配置