KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09 - 第361页

 6 - 39   30 部品残り 74 No. 2ヘッドが異常 35 BGA ホルダエラー 75 オーバーランエラー(シャトル+リミット) 78 Y ホルダーエラー 141 サーボドライバー ON 不能( Z 軸) 79 イニシャライズ未完了 145 ソフトリミット(シャトル) 80 本体非常停止 151 サーボアラーム 81 オーバーランエラー( Z 軸−リミット) 165 バルブ動作不良 82 オーバーランエラー( X 軸−…

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82
左右両方のウィンドウウェッジが塞がれた
エラーを検出しました
207
チップ立ち
90
角度計算中にエラーが発生しました
208
異部品
91
角度計算中にエラーが発生しました
209
部品方向異常
92
角度計算中にエラーが発生しました
210
フィーダピッチずれ
部品
エラー表示内容
エラー表示内容
チップ立ち
17
搭載確認エラー
部品落下
ベリファイエラー
33
LLL
コリニアリティ
未搭載
34
LLL
コプラナリティ
異部品エラー
35
LLL
リード数
部品吸着ミス
36
LLL
吸着位置
10
ボール検査
16
部品廃棄異常
供給装置
エラー表示内容
エラー表示内容
部品切れ
MTC
エラー表示内容
エラー表示内容
コマンドエラー
36
搬送路上基板検出
パラメータエラー
40
シャトル搬送中に吸着完了受信
部品切れ
44
ヘッドの
No.
真空センサ異常
READY
タイムアウト
45
シャトルの
No.
真空センサ異常
ETX
タイムアウト
46
自動基板幅調整原点未検出
同期文字タイムアウト
48
ティーチングスポット点灯せず
レスポンスタイムアウト
49
MS
パラメータが未入力
データエラー
54
ヘッドの
No.
真空センサ異常
無効なレスポンス受信
55
シャトルの
No.
真空センサ異常
10
オフライン時に動作命令
56
自動基板幅調整脱調検出
13
トレイスタッカが非ロック状態
61
ホームポジションエラー(
Z
軸)
14
吸着エラー(ヘッド)
62
ホームポジションエラー(
X
軸)
15
吸着エラー(シャトル)
63
ホームポジションエラー(
Y
軸)
16
部品回収不可
64
No.
1ヘッドが異常
18
トレイを検出しなかった
65
シャトルエラー
19
カバーオープン
68
シャッタクローズエラー
24
搬送エラー(ヘッド)
69
シャッタオープンエラー
25
搬送エラー(シャトル)
70
非常停止
26
サプライ状態
71
オーバーランエラー(
Z
軸+リミット)
28
トレイスタッカ無し
72
オーバーランエラー(
X
軸+リミット)
29
ドアオープン
73
オーバーランエラー(
Y
軸+リミット)
6 - 39
30
部品残り
74
No.
2ヘッドが異常
35
BGA
ホルダエラー
75
オーバーランエラー(シャトル+リミット)
78
Y
ホルダーエラー
141
サーボドライバー
ON
不能(
Z
軸)
79
イニシャライズ未完了
145
ソフトリミット(シャトル)
80
本体非常停止
151
サーボアラーム
81
オーバーランエラー(
Z
軸−リミット)
165
バルブ動作不良
82
オーバーランエラー(
X
軸−リミット)
171
引出要求取消
83
オーバーランエラー(
Y
軸−リミット)
182
オフライン状態遷移
84
No.
1ヘッドセンサーエラー
183
サプライ状態遷移
85
オーバーランエラー(シャトル−リミット)
184 MTC
非常停止押下
86
インターロック異常
185
リトライアウト
91
移動不能(
Z
軸)
186
部品切れ
92
移動不能(
X
軸)
187
サプライ中
93
移動不能(
Y
軸)
203 MTC
通信エラー(データエラー)
94
No.
2ヘッドセンサーエラー
204 MTC
通信エラー(通信エラー)
95
移動不能(シャトル)
205 MTC
通信エラー(手順エラー)
99
ドア、カバー
SW
エラー
206 MTC
通信エラー(同期エラー)
100
オーバランエラー
207 MTC
通信エラー(電源断エラー)
101 Z
軸系センサエラー
208
トレイデータ段番号指定不正
102 X
軸系センサエラー
209 MTC
セットアップ未使用設定
103 Y
軸系センサエラー
210 STX ETX
107 RAM
エラー
211
未定義コマンドコード指定
108
ブレーキ電流異常
212
引出要求多重送信(ウェイト)
109
ホルダーセンサーエラー(
Y
軸)
213
引出要求多重送信(キック)
110
モーター
OFF 214
引出要求の異常動作
111
ソフトリミット(
Z
軸)
215
レスポンスタイムアウト
112
ソフトリミット(
X
軸)
218
イニシャライズ未完
113
ソフトリミット(
Y
軸)
219
オフラインの為、送信不可
115
シャトル系センサエラー
220
エラーダウンの為、動作不可
117 NV
RAM
エラー
221 IPC
オブジェクト
オープンエラー(
MTC
−1)
118
クローズ・オープンセンサエラー
222 IPC
オブジェクト
オープンエラー(
MTC
−2)
122
ドライバアラーム(
Z
軸)
223 IPC
オブジェクト
オープンエラー(
MTS
−1)
123
ドライバアラーム(
X
軸)
224 IPC
オブジェクト
オープンエラー(
MTS
−2)
125
ドライバアラーム(
Y
軸)
225 IPC
オブジェクト
オープンエラー(
DTS
−1)
128
トレイエラー
226 IPC
オブジェクト
オープンエラー(
DTS
−2)
135
シャトルパットチェンジエラー
231 IPC
オブジェクト
クローズエラー(
MTC
−1)
232 IPC
オブジェクト
クローズエラー(
MTC
−2)
301
動作エラー
233 IPC
オブジェクト
クローズエラー(
MTS
−1)
302
リトライオーバー
234 IPC
オブジェクト
クローズエラー(
MTS
−2)
303
部品切れ
235 IPC
オブジェクト
クローズエラー(
DTS
−1)
304
オフライン
6 - 40
236 IPC
オブジェクト
クローズエラー(
DTS
−2)
305
サプライ
241 IPC
送信エラー(
MTC
−1)
306
吸着ミス
242 IPC
受信エラー(
MTC
−1)
402
タイムアウト(
READY
待ち監視
10
秒)
243 IPC
送信エラー(
MTC
−2)
403
タイムアウト(同期文字監視
4
秒)
244 IPC
受信エラー(
MTC
−2)
404
タイムアウト(
ETX
監視
3
秒)
245 IPC
送信エラー(
MTS
−1)
405 MTC
電源
OFF
246 IPC
受信エラー(
MTS
−1)
406
タイムアウト(レスポンス無監視
60
秒)
247 IPC
送信エラー(
MTS
−2)
407
受信データ妥当性エラー
248 IPC
受信エラー(
MTS
−2)
408
リングバッファアクセスエラー
249 IPC
送信エラー(
DTS
−1)
409
タイムアウト(データリンク解放
1)
250 IPC
受信エラー(
DTS
−1)
410
タイムアウト(データリンク解放
2)
251 IPC
送信エラー(
DTS
−2)
411 MTC
通信初期化失敗
252 IPC
受信エラー(
DTS
−2)
設定
エラー表示内容
エラー表示内容
未使用オプション
󰒊
エラー表示内容
エラー表示内容
コマンドエラー 18
トレイを検出しなかった
パラメータエラー 20
本体カバーオープン
READY タイムアウト 26
サプライ状態
ETX タイムアウト 28
トレイスタッカ無し
同期文字タイムアウト 29
ドアオープン
レスポンスタイムアウト 30
吸着完了未受信
データエラー 40
トレイ搬送中に吸着完了受信
無効なレスポンス受信 49
MS パラメータが未入力
10
オフライン時に動作命令 52
ノーマルモード時スタッカ切替要求
13
トレイスタッカが非ロック状態 61
ホームポジションエラー(Z 軸)
63
ホームポジションエラー(Y 軸) 133 部品浮きセンサを検出
68
シャッタクローズエラー 138 スタッカクランプエラー
69
シャッタオープンエラー 141 サーボドライバーON 不能(Z 軸)
70
非常停止 151 サーブアラーム
71
オーバーランエラー(Z 軸+リミット)
161 テストモード動作タイムアウト
73
オーバーランエラー(Y 軸+リミット)
171 引出要求取消
78
Y ホルダーエラー 182 オフライン状態遷移
79
イニシャライズ未完了 183 サプライ状態遷移
80
本体非常停止 184 MTS 非常停止押下
81
オーバーランエラー(Z 軸―リミット)
185 リトライアウト
83
オーバーランエラー(Y 軸―リミット)
186 部品切れ