KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09 - 第406页
6 - 84 Ⅰ . 継続生産ファイルがある場合 ⑨ 順次混合生産で、搬出側の基板が待ち状態で、 入口ステーションが生 産時に生産が中断され た場合。 （継続生産ファイルを使用、再クランプ選択時） 搬入側（待ち） 入 口 ｽﾃｰｼｮﾝ （生産中） 出口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち） 搬出側（待ち） 搬入側 入口ｽﾃｰｼｮﾝ 出 口 ｽﾃｰｼｮﾝ ( 搬出する） 搬出側（搬出する） …
6 - 83
Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
◇ 再クランプ選択時、基板搬出を伴う場合
。
⑦
順次混合生産で、搬出側の基板が待ち状態で、基板搬出エラーとなった場合。
（継続生産ファイルを使用、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（ｴﾗｰ）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出する）
↓
↓↓
↓
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を出口ステーションへ送り再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ｽﾃｰｼｮﾝの基板を搬出した後、入口ステーシ
ョン上の基板を出口ステーションで再クランプし、継続生産を開始します。
⑧
出口ステーションの生産中で、搬出側の基板が待ち状態で、基板搬出エラーとなった場合。
（生産開始前処理ダイアログ（継続生産ファイルがない場合）で、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（ｴﾗｰ）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（搬出する）
搬出側（搬出する）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を出口ステーション上に再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ステーションの基板を搬出した後、入口ス
テーション上の基板を出口ステーションで再クランプし、生産（新規または再開生産）を開
始します。
6 - 84
Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
⑨
順次混合生産で、搬出側の基板が待ち状態で、入口ステーションが生産時に生産が中断され
た場合。
（継続生産ファイルを使用、再クランプ選択時）
搬入側（待ち）
入口ｽﾃｰｼｮﾝ（生産中）
出口ｽﾃｰｼｮﾝ（待ち）
搬出側（待ち）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
搬出する）
搬出側（搬出する）
搬入側
入口ｽﾃｰｼｮﾝ
(
再ｸﾗﾝﾌﾟ
)
出口ｽﾃｰｼｮﾝ
搬出側
◇
この場合、搬出側の基板を次工程に送り、出口ステーション上の基板を搬出側へ、入口ステ
ーション上の基板を再クランプする必要があります。
ただし、この時のみ、出口ステーションと搬出側ステーションの基板を搬出した後、入口ス
テーション上の基板を再クランプし、継続生産を開始します。
6 - 85
Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
継続生産を行い、再クランプ後生産
搬送路上基板
生産中断時
搬送路基板
搬送路上の状態図
No.
継続
生産
生産動作
左 右 左 右 左 右
実行後の動作
①
有り
有り
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基
板搬入を行わず継続生産
②
有り
無し
エラー
③
無し
有り
エラー
④
無し
無し
− −
選択不可
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継
続生産（要注意）
⑥
有り
有り
エラー
⑦
有り
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基
板搬入を行わず継続生産
⑧
無し
有り
エラー
⑨
無し
無し
− −
選択不可
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継
続生産（要注意）
⑪
有り
有り
エラー
⑫
有り
無し
エラー
⑬
無し
有り
再ｸﾗﾝﾌﾟ後生産開始前に基
板搬入を行わず継続生産
⑭
無し
無し
− −
選択不可
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
再ｸﾗﾝﾌﾟ後、基板搬入無し継
続生産（要注意）
⑯
有り
有り
⑰
有り
無し
⑱
無し
有り
エラー
（基板がありません）
⑲
無し
無し
− −
選択不可
⑳
行う
再ｸﾗﾝﾌﾟ
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
エラー
（基板がありません）