KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09 - 第411页
6 - 89 Ⅰ . 継続生産ファイルがある場合 継続生産を行わず（新規生産、再開生産）、基板搬入後生産 搬送路上基板 生産中断時搬 送路基板 搬送路上の状態図 事 例 No. 継続生 産 生産動作 左 右 左 右 左 右 実行後の動作 ① 有り 有り ― ― ② 有り 無し ― ― ③ 無し 有り ― ― 基板搬出後、 生産開始 前に基板搬入 をし、 新 規生産あるいは再開 生産（要注意）…
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
継続生産を行い、基板搬入後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続
生産
生産動作
左 右 左 右
左 右
実行後の動作
①
有り
有り
− −
②
有り
無し
− −
③
無し
有り
− −
選択不可
④
無し
無し
− −
−
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産（注）
⑥
有り
有り
− −
⑦
有り
無し
− −
⑧
無し
有り
− −
選択不可
⑨
無し
無し
− −
−
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に基
板搬入後継続生産（注）
⑪
有り
有り
− −
⑫
有り
無し
− −
⑬
無し
有り
− −
選択不可
⑭
無し
無し
− −
−
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に基
板搬入後継続生産（注）
⑯
有り
有り
⑰
有り
無し
⑱
無し
有り
生産開始前に基板搬入後、継
続生産
⑲
無し
無し
− −
−
⑳
行う
基板搬入
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
生産開始前に基板搬入後、継
続生産
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Ⅰ.
継続生産ファイルがある場合
継続生産を行わず（新規生産、再開生産）、基板搬入後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続生
産
生産動作
左
右
左
右
左
右
実行後の動作
①
有り
有り
― ―
②
有り
無し
― ―
③
無し
有り
― ―
基板搬出後、生産開始
前に基板搬入をし、新
規生産あるいは再開
生産（要注意）
④
行わず
基板搬入
後生産
無し
無し
― ―
生産開始前に基板搬
入後、新規生産あるい
は再開生産
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Ⅱ.
継続生産ファイルがない場合
Ⅱ．
Ⅱ．Ⅱ．
Ⅱ．
継続生産ファイルがない場合
継続生産ファイルがない場合継続生産ファイルがない場合
継続生産ファイルがない場合
（１）再クランプを行う場合
前頁項目の ＜Ⅰ．継続生産ファイルがある場合＞ を参照下さい。
◆ 基板搬入中の場合：（④、⑤、⑥）の場合と同様です。
◆ 再クランプ選択時、基板搬出を伴う場合： ⑧ の場合と同様です。
新規生産、または、再開生産で、基板搬入後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
事
例
No.
継続
生産
生産動作
左
右
左
右
左
右
実行後の動作
①
有り
有り
−
②
有り
無し
−
③
無し
有り
−
選択不可
④
無し
無し
⑤
有り
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産（注）
⑥
有り
有り
−
⑦
有り
無し
−
⑧
無し
有り
−
選択不可
⑨
無し
無し
⑩
有り
無し
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産（注）
⑪
有り
有り
−
⑫
有り
無し
−
⑬
無し
有り
−
選択不可
⑭
無し
無し
⑮
無し
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産（注）
⑯
有り
有り
⑰
有り
無し
⑱
無し
有り
⑲
無し
無し
⑳
ファ
イル
無し
基板搬入
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
生産開始前に基板搬入後、
継続生産
（注）継続生産ファイルが必要となる場合に生産を中断した場合に、継続生産ファイルがない場合、上記状態は全て情報無
しの扱いとなります。