KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09 - 第413页

 6 - 91  󰒙  (2)基板搬入後生産を選択した時に、搬送路上に基板があり、基板搬出をする場合 前頁項目の <Ⅰ.継続生産ファイルがある場合> を参照下さい。 ◆ 生産動作を中断した場 合(継続生産ファイルの使用、未使用にかかわらず):( ④、⑤、 ⑥)の場合と同様です。  新規生産、または、再開生産で、再クランプ後生産   搬送路上基板  生産中断時搬 送路基板  搬送路上の状態…

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継続生産ファイルがない場合
Ⅱ.
Ⅱ.Ⅱ.
Ⅱ.
継続生産ファイルがない場合
継続生産ファイルがない場合継続生産ファイルがない場合
継続生産ファイルがない場合
(1)再クランプを行う場合
前頁項目の <Ⅰ.継続生産ファイルがある場合> を参照下さい。
基板搬入中の場合:(④、⑤、⑥)の場合と同様です。
再クランプ選択時、基板搬出を伴う場合: の場合と同様です。

新規生産、または、再開生産で、基板搬入後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
No.
継続
生産
生産動作
実行後の動作
有り
有り

有り
無し

無し
有り

選択不可
無し
無し
有り
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産(注)
有り
有り

有り
無し

無し
有り

選択不可
無し
無し
有り
無し
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産(注)
有り
有り

有り
無し

無し
有り

選択不可
無し
無し
無し
有り
情報
無し
情報
無し
基板搬出後、生産開始前に
基板搬入後継続生産(注)
有り
有り
有り
無し
無し
有り
無し
無し
ファ
イル
無し
基板搬入
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
生産開始前に基板搬入後、
継続生産
(注)継続生産ファイルが必要となる場合に生産を中断した場合に、継続生産ファイルがない場合、上記状態は全て情報無
しの扱いとなります。
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󰒙

(2)基板搬入後生産を選択した時に、搬送路上に基板があり、基板搬出をする場合
前頁項目の <Ⅰ.継続生産ファイルがある場合> を参照下さい。
◆ 生産動作を中断した場合(継続生産ファイルの使用、未使用にかかわらず):(④、⑤、
⑥)の場合と同様です。

新規生産、または、再開生産で、再クランプ後生産
搬送路上基板
生産中断時搬
送路基板
搬送路上の状態図
No.
継続
生産
生産動作
実行後の動作
有り
有り
クランプ後生産開始前に基板搬
入を行わず継続生産
有り
無し
エラー
無し
有り
エラー
無し
無し
選択不可
有り
有り
情報
無し
情報
無し
クランプ後、基板搬入無し継続
生産(要注意)
有り
有り
エラー
有り
無し
クランプ後生産開始前に基板搬
入を行わず継続生産
無し
有り
エラー
無し
無し
選択不可
有り
無し
情報
無し
情報
無し
クランプ後、基板搬入無し継続
生産(要注意)
有り
有り
エラー
有り
無し
エラー
無し
有り
クランプ後生産開始前に基板搬
入を行わず継続生産
無し
無し
選択不可
無し
有り
情報
無し
情報
無し
クランプ後、基板搬入無し継続
生産(要注意)
有り
有り
有り
無し
無し
有り
エラー
(基板がありません)
無し
無し
選択不可
ファ
イル
無し
クランプ
後生産
無し
無し
情報
無し
情報
無し
エラー
(基板がありません)
(注)継続生産ファイルが必要となる場合に生産を中断した場合に、継続生産ファイルがない場合、上記状態
は全て情報無しの扱いとなります。
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継続生産データ削除確認ダイアログ
継続生産データ削除確認ダイアログ継続生産データ削除確認ダイアログ
継続生産データ削除確認ダイアログ
継続生産ファイルが有る場合、継続生産ファイルを行わない」を選択すると、継続生産ファイ
ルを削除するかどうかの問合せダイアログが表示されます。
6-4-15-2 継続生産データ削除確認ダイアログ
継続生産データ削除確認ダイアログ継続生産データ削除確認ダイアログ
継続生産データ削除確認ダイアログ
ここで、<はい>を選択した時は継続生産データを削除します。(実際に削除されるのは
生産動作が開始された時です。)前回異常終了時の継続生産は行えなくなります。
<いいえ>を選択すると削除しませんが次回ファイル読み込み時生産開始前処理ダイ
アログ(継続生産ファイルがある場合)が表示されます。
継続生産データ削除確認ダイアログで、選択後、生産開始(新規生産)ダイアログが表示さ
れます。