KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09 - 第532页
8 - 26 8-3-2. 搬送系自動制御 搬送系自動制御 搬送系自動制御 搬送系自動制御 ［制御 （ C ） ］ ［搬送系 （ C ） ］ ［自動制御（ A ） ... ］を選択すると， 下記の搬送系自動制御のダイア ログが表示されます。 図 図 図 図 8-3- 2 搬送系自動制御ダイアログ（表示例． 搬送系自動制御ダイアログ（表示例． 搬送系自動制御ダイアログ（表示例． 搬送系自動制御ダイアログ（表示例． KE-2030 ） …
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7)
搬送モータ（センタバッファ）
搬送モータ（センタバッファ）の
ON
／
OFF
を制御します。
制御項目の“搬送モータ（センタバッファ）”がチェックされているときに＜
ON
（
O
）＞ボタン、＜
OFF
（
F
）＞ボ
タン、＜
ON
／
OFF
（
/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、Ｆ５キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
8)
搬送モータ（アウトバッファ）
搬送モータ（アウトバッファ）の
ON
／
OFF
を制御します。
制御項目の“搬送モータ（アウトバッファ）”がチェックされているときに＜
ON
（
O
）＞ボタン、＜
OFF
（
F
）＞ボ
タン、＜
ON
／
OFF
（
/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、Ｆ５キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
9)
バックアッププレートストッパー
バックアッププレートストッパーの
ON
／
OFF
を制御します。
制御項目の“バックアッププレートストッパー”がチェックされているときに＜
ON
（
O
）＞ボタン、＜
OFF
（
L
）
＞ボタン、＜
ON
／
OFF
（
/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、
F5
キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
10)
入口側シャッターシリンダ
入口側シャッターシリンダの開／閉を制御します。
制御項目の“入口側シャッターシリンダ”がチェックされているときに＜開（
O
）＞ボタン、＜閉（
L
）＞ボタン、
＜開／閉（
/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、
F5
キーを押して制御します。
◇
状態表示は、制御完了時に更新されます。
11)
出口側シャッターシリンダ
出口側シャッターシリンダの開／閉を制御します。
制御項目の“出口側シャッターシリンダ”がチェックされているときに＜開（
O
）＞ボタン、＜閉（
L
）＞ボタン、
＜開／閉（
/
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、
F5
キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
12)
チエックシリンダ
チエックシリンダの
ON
／
OFF
を制御します｡
KE-2030
以外の機種では設定できません。
制御項目の“チエックシリンダ”がチェックされているときに＜
ON
（
O
）＞ボタン、＜
OFF
（
L
）＞ボタン;＜
ON/OFF
（
L
）＞ボタンを選択するかまたは、Ｆ３キー、Ｆ４キー、
F5
キーを押して制御します。
・状態表示は、制御完了時に更新されます。
(4)
状態表示
各センサ、各ユニットの状態を制御完了時に表示します。
各センサ、各信号、各ユニットの状態を連続表示します。
注意
注意注意
注意 :
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8-3-2.
搬送系自動制御
搬送系自動制御搬送系自動制御
搬送系自動制御
［制御（C
）］［搬送系（C）］［自動制御（A）...］を選択すると，下記の搬送系自動制御のダイア
ログが表示されます。
図
図図
図 8-3-2
搬送系自動制御ダイアログ（表示例．
搬送系自動制御ダイアログ（表示例．搬送系自動制御ダイアログ（表示例．
搬送系自動制御ダイアログ（表示例．KE-2030）
））
）
*１：“制御項目（基板移動クランプ）”“基板ステーション間移動制御”“制御位置”
は、KE-2030 のみ表示されます。
(1) 制御項目
制御項目をラジオボタンにより選択します。
(2) 位置決め方式
位置決め方式をラジオボタンにより選択します。
◆ 制御項目（図 8-3-2 ダイアログ参照）で“初期化”“基板搬出”“基板固定解除”“基板 WAIT/OUT
センサチェック”が選択されているときは、設定できません。
*
*
*
注意
注意注意
注意
:
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(3) 基板ステーション間移動制御
基板ステーション間移動の制御をラジオボタンにより選択します。
制御項目で［初期化］［基板搬出］［基板固定解除］が選択されているときには、設定できません。
KE-2030 以外の機種では、
両ステーションは設定できません。
(4) 制御位置
制御時の位置をラジオボタンにより選択します。
制御項目で“初期化”が選択されているときは，設定できません。
KE-2030 以外の機種では、
両ステーションは設定できません。
(5) 制御ボタン
制御ボタンにより制御項目を実行します。
1) 初期化
基板搬送を初期化します。
制御項目の“初期化”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択するかまたは、
Ｆ３キーを押して制御します。
2) 基板ロード
位置決め方式で指定された方式により基板をロードします。
制御項目の“基板ロード”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択するかま
たは、Ｆ３キーを押して制御します。
3) 基板搬出
基板を搬出します。
制御項目の“基板搬出”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択するかまた
は、Ｆ３キーを押して制御します。
4) 基板固定解除
基板の固定を解除します。
制御項目の“基板固定解除”がチェックされているときに＜実行（E
）＞ボタンを選択するか
または、Ｆ３キーを押して制御します。
注意
注意注意
注意 :
注意
注意注意
注意 :