KE2030取扱説明書Ver.2.01,和文Rev.09 - 第665页
13 - 28 13-4-5. ボールねじとリニアウ ボールねじとリニアウ ボールねじとリニアウ ボールねじとリニアウ エ エ エ エ イ（ヘッド部） イ（ヘッド部） イ（ヘッド部） イ（ヘッド部） ボールねじとリニアウ エ イのレールにグリス (C グリス ) を薄く塗布して下さい。 スプラインシャフト軸ににグリス (C グリス ) を薄く塗布して下さい。 塗布後は， Z 軸を手で動かしてグルスを充分なじませて下さい。 ① ボールねじ…
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13-4-2.
搬送スクリューシャフト（シャフト）
搬送スクリューシャフト（シャフト）搬送スクリューシャフト（シャフト）
搬送スクリューシャフト（シャフト）
スクリューシャフト（左右２箇所）
＊印全面にグリスを塗布します。
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
13-4-3.
搬送ガイドシャフト
搬送ガイドシャフト搬送ガイドシャフト
搬送ガイドシャフト
ガイドシャフト（左右２箇所）
ガイドシャフト全面にグリスを塗布します。
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
13-4-4.
基板ストッパ部
基板ストッパ部基板ストッパ部
基板ストッパ部
＊印穴部にグリスを注油します。
*
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
スクリューシャフト
スクリュー
ガイドシャフト
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13-4-5. ボールねじとリニアウ
ボールねじとリニアウボールねじとリニアウ
ボールねじとリニアウ
エ
エエ
エ
イ（ヘッド部）
イ（ヘッド部）イ（ヘッド部）
イ（ヘッド部）
ボールねじとリニアウ
エ
イのレールにグリス
(C
グリス
)
を薄く塗布して下さい。
スプラインシャフト軸ににグリス
(C
グリス
)
を薄く塗布して下さい。
塗布後は，
Z
軸を手で動かしてグルスを充分なじませて下さい。
① ボールねじ
② リニアウ
エ
イ
③ スプラインシャフト
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
①
②
③
注意
注意注意
注意
:
グリス
(C
グリス
)
以外のグリスを塗布しないで下さい。
異なるグリスと混ざると､グリスが分離して垂れてくる
ばあいがあります
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13-4-6. バックアップテーブル
バックアップテーブルバックアップテーブル
バックアップテーブル
＊印ボールねじ軸３箇所全面にグリスを塗布します。
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
13-4-7. 基板搬送可動テーブル
基板搬送可動テーブル基板搬送可動テーブル
基板搬送可動テーブル
ボールねじ・ＬＭガイド
ボールねじ・ＬＭガイドボールねじ・ＬＭガイド
ボールねじ・ＬＭガイド
グリス
(
Ｃグリス
)
)
以外のグリスを塗布しないで下さい
危険
不意の起動による事故を防ぐため，電源を切ってから行って下さい。
注意
注意注意
注意
:
グリス
(C
グリス
)
グリス
(C
グリス
)
グリス
(C
グリス
)