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4OM-1750 3-56 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 42b602 搬送動作確認 バックアップベース (R) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。 ----- 42b603 搬送動作確認 バックアップベース (AL) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。 ----- 42b604 搬送動作確認 バックアップベース (AR) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。 ----- 42b605 搬送動…
4OM-1750
3-55
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42b201 排出側シャトルコンベアタイムアウト
装置内からの取込動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア上で停止している可能性があります
①基板の位置を確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
③システム設定の排出コンベアタイマー値を設定して、取込時間を調整してくだ
さい
42b202 排出側シャトルコンベアタイムアウト
後工程装置への排出動作中にタイムアウトが発生しました。
基板がコンベア間で停止しています、基板の位置を確認してください
①シャトルコンベアからの乗り継ぎ位置が合っているか確認してください
②コンベア幅が合っているか確認してください
42b203 排出側シャトルコンベアタイムアウト
装置内からの受渡位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42b204 排出側シャトルコンベアタイムアウト
後工程装置への授受位置移動中にタイムアウトが発生しました
ユニットに異常が無いか、干渉物が無いか確認してください。
42b301 排出側シャトルコンベア異常
シャトルコンベア動作中に異常が発生しました
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42b401 搬送動作確認
コンベア上に基板を検出しました。基板を取り除いてください。
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42b501 搬送動作確認
基板ストッパ (L) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b502 搬送動作確認
基板ストッパ (R) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b503 搬送動作確認
基板ストッパ (AL) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b504 搬送動作確認
基板ストッパ (AR) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b505 搬送動作確認
基板ストッパ (BL) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b506 搬送動作確認
基板ストッパ (BR) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b601 搬送動作確認
バックアップベース (L) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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1303-001
3.3 コンベア
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異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
42b602 搬送動作確認
バックアップベース (R) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b603 搬送動作確認
バックアップベース (AL) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b604 搬送動作確認
バックアップベース (AR) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b605 搬送動作確認
バックアップベース (BL) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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42b606 搬送動作確認
バックアップベース (BR) の下降動作が所定時間内に完了しませんでした。
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T4C5
1303-001
3.3 コンベア
4OM-1750
3-571303-001
3.4 トレイフィーダ ( ブロック 1)
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
430201
トレイモータ異常 ( ブロック 1)
エレベータ異常停止
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430202
トレイモータ異常 ( ブロック 1)
エレベータ異常停止
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430203
トレイモータ異常 ( ブロック 1)
トラバース異常停止
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430301
トレイラックシャッタ開閉異常 ( ブロック 1)
ラックシャッタが所定時間以内にオープンしませんでした。
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430302
トレイラックシャッタ開閉異常 ( ブロック 1)
ラックシャッタが所定時間以内にクローズしませんでした。
ラックシャッタにパレットが挟まっていないか確認してください。
430401
トレイパレットチャック開閉異常 ( ブロック 1)
パレットチャック爪が所定時間以内にオープンしませんでした。
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430402
トレイパレットチャック開閉異常 ( ブロック 1)
パレットチャック爪が所定時間以内にクローズしませんでした。
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431001
トレイ供給動作異常 ( ブロック 1)
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431002
トレイ供給動作異常 ( ブロック 1)
引き出し中トレイ段 No. 不一致 ( 戻し動作 )
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431003
トレイ供給動作異常 ( ブロック 1)
引き出し中トレイ段 No. 不一致 ( 戻し動作 )
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431004
トレイ供給動作異常 ( ブロック 1)
動作モード不正 (system)
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431005
トレイ供給動作異常 ( ブロック 1)
TV 軸位置不定
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431006
トレイ供給動作異常 ( ブロック 1)
マガジン種別不一致
マガジン 10 段、15 段種別の確認をしてください。
431101
トレイパレット戻し動作異常 ( ブロック 1)
エレベータプリチェック異常
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3.4 トレイフィーダ ( ブロック 1)