4M-1750-005w_G5S.pdf - 第265页
4OM-1750 3-135 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 511227 搬送部準備動作異常 基板ストッパ (BREV) の下降が正常に動作していません。 基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。 511301 追加押し込み動作異常 追加押し込み動作が完了しませんでした。 安全カバーを開け、装着部品を確認し、除去または修正してください。 511401 基準マークずれ自動補正機能 基準マークずれ…
4OM-1750
3-134
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
511212
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AR) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511213
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511214
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511215
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BL) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511216
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511217
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511218
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BR) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか、エアーが入っていない可能性があります。
511219
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (REV) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511220
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (REV) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511221
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (REV) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511222
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AREV) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511223
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AREV) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511224
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (AREV) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511225
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BREV) の上昇リミットと下降リミットを同時に検出しました。
配線の確認及びリミットの調整をしてください。
511226
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BREV) の上昇が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
1303-001
3.12 生産運転
4OM-1750
3-135
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
511227
搬送部準備動作異常
基板ストッパ (BREV) の下降が正常に動作していません。
基板ストッパが故障しているか，エアーが入っていない可能性があります。
511301
追加押し込み動作異常
追加押し込み動作が完了しませんでした。
安全カバーを開け、装着部品を確認し、除去または修正してください。
511401
基準マークずれ自動補正機能
基準マークずれ自動補正処理で異常が発生しました。
基準マーク位置オフセット教示をやり直してください。
511402
基準マークずれ自動補正機能
基準マークずれ自動補正処理でタイムアウトが発生しました。
基準マーク位置オフセット教示をやり直してください。
511403
基準マークずれ自動補正機能
基準マーク認識で異常が発生しました。
基準マーク位置オフセット教示をやり直してください。
T4C14
1303-001
3.12 生産運転
4OM-1750
3-1361303-001
3.13 自動教示
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
600101 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
-----
-----
600102 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
認識コマンド応答に異常がありました
-----
600103 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
座標計算で異常が発生しました
-----
600104 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
XY ビームデータ設定で異常が発生しました
-----
600105 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
XY ビーム動作で異常が発生しました
-----
600106 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
XY ビーム動作でタイムアウトが発生しました
-----
600107 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
-----
600108 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
部品認識カメラの基準マークの認識に失敗しました
-----
600109 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
装置基準マーク ( 市松ピン ) の認識に失敗しました
-----
60010a 基板認識カメラ & ビームオフセット教示
ガラス治具基板上の市松マークの認識に失敗しました
-----
600201 部品認識カメラオフセット教示
ガラス治具の認識ができませんでした
ガラス治具置き場に治具が設置されていることを確認してください ( ヘッド上に
ノズルがない可能性や真空が ON していない可能性もあるので確認してください )
600202 部品認識カメラオフセット教示
教示結果が許容値に入りませんでした
ガラス冶具が正しく吸着できているか確認して下さい。
吸着できていなときは、教示プレートオフセットで調整してください。
600203 部品認識カメラオフセット教示
認識コマンド応答に異常がありました
-----
3.13 自動教示