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4OM-1750 3-152 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 602214 トラバース引き出し位置教示 基板認識照明 OFF タイムアウト異常 ----- 602215 トラバース引き出し位置教示 原点位置計算異常 ----- 602216 トラバース引き出し位置教示 プログラムエラー ----- 602301 トレイ吸着位置教示 トレイ吸着位置教示で異常が発生しました ----- 602302 トレイ吸着位置教示 XY …
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3-151
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
602205 トラバース引き出し位置教示
トラバース軸原点復帰タイムアウト異常
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602206 トラバース引き出し位置教示
原点復帰中にパレット飛び出しを検出しました
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602207 トラバース引き出し位置教示
トラバース軸移動位置計算異常
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602208 トラバース引き出し位置教示
トラバース軸動作異常
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602209 トラバース引き出し位置教示
トラバース軸動作タイムアウト異常
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60220a トラバース引き出し位置教示
XY 軸の移動位置計算で異常が発生しました ( ピン認識位置 )
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60220b トラバース引き出し位置教示
XY 軸動作異常
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60220c トラバース引き出し位置教示
XY 軸動作タイムアウト異常
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60220d トラバース引き出し位置教示
基板認識照明 ON 異常
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60220e トラバース引き出し位置教示
基板認識照明 ON タイムアウト異常
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60220f トラバース引き出し位置教示
画像取り込み異常
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602210 トラバース引き出し位置教示
画像取り込みタイムアウト異常
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602211 トラバース引き出し位置教示
認識実行異常
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602212 トラバース引き出し位置教示
認識実行タイムアウト異常
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602213 トラバース引き出し位置教示
基板認識照明 OFF 異常
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1303-001
3.13 自動教示
4OM-1750
3-152
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
602214 トラバース引き出し位置教示
基板認識照明 OFF タイムアウト異常
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602215 トラバース引き出し位置教示
原点位置計算異常
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602216 トラバース引き出し位置教示
プログラムエラー
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602301 トレイ吸着位置教示
トレイ吸着位置教示で異常が発生しました
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602302 トレイ吸着位置教示
XY 軸動作で異常が発生しました
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602303 トレイ吸着位置教示
XY 軸動作でタイムアウト異常が発生しました
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602304 トレイ吸着位置教示
目合わせ教示で異常が発生しました
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602401 吸着位置補正教示
吸着位置補正教示で異常が発生しました
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602402 吸着位置補正教示
XY 軸動作で異常が発生しました
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602403 吸着位置補正教示
XY 軸動作でタイムアウト異常が発生しました
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602404 吸着位置補正教示
目合わせ教示で異常が発生しました
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602501 トレイマトリクス教示
トレイマトリクス教示で異常が発生しました
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602502 トレイマトリクス教示
XY 軸動作で異常が発生しました
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602503 トレイマトリクス教示
XY 軸動作でタイムアウト異常が発生しました
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602504 トレイマトリクス教示
目合わせ教示で異常が発生しました
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1303-001
3.13 自動教示
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3-153
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
602601 コプラナリティ教示
コプラナリティ教示で異常が発生しました
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602602 コプラナリティ教示
認識異常が発生しました
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602603 コプラナリティ教示
コプラナリティユニットとの通信でタイムアウトが発生しました
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602701 テーブルオフセット教示
テーブルオフセット教示で異常が発生しました
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602702 テーブルオフセット教示
認識コマンド応答に異常がありました。
基板の搬入方向が間違っている可能性があるので、確認して下さい。
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602801 バックアップピン位置教示
バックアップピン位置教示で異常が発生しました
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602802 バックアップピン位置教示
認識コマンド応答に異常がありました
教示用のピンが配置されていることを確認してください
602803 バックアップピン位置教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
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602804 バックアップピン位置教示
バックアップピン位置オフセットが許容値を超えています
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602901 基板高さ測定センサ教示
基板高さ測定センサ教示で異常が発生しました
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602902 基板高さ測定センサ教示
認識コマンド応答に異常がありました
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602903 基板高さ測定センサ教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
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602904 基板高さ測定センサ教示
センサ位置オフセットが正しく計測できませんでした
基板高さ測定センサを再調整してください
602905 基板高さ測定センサ教示
基板高さセンサ測定で異常が発生しました
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1303-001
3.13 自動教示