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4OM-1750 3-153 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 602601 コプラナリティ教示 コプラナリティ教示で異常が発生しました ----- 602602 コプラナリティ教示 認識異常が発生しました ----- 602603 コプラナリティ教示 コプラナリティユニットとの通信でタイムアウトが発生しました ----- 602701 テーブルオフセット教示 テーブルオフセット教示で異常が発生しました ----- 6027…
4OM-1750
3-152
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
602214 トラバース引き出し位置教示
基板認識照明 OFF タイムアウト異常
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602215 トラバース引き出し位置教示
原点位置計算異常
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602216 トラバース引き出し位置教示
プログラムエラー
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602301 トレイ吸着位置教示
トレイ吸着位置教示で異常が発生しました
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602302 トレイ吸着位置教示
XY 軸動作で異常が発生しました
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602303 トレイ吸着位置教示
XY 軸動作でタイムアウト異常が発生しました
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602304 トレイ吸着位置教示
目合わせ教示で異常が発生しました
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602401 吸着位置補正教示
吸着位置補正教示で異常が発生しました
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602402 吸着位置補正教示
XY 軸動作で異常が発生しました
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602403 吸着位置補正教示
XY 軸動作でタイムアウト異常が発生しました
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602404 吸着位置補正教示
目合わせ教示で異常が発生しました
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602501 トレイマトリクス教示
トレイマトリクス教示で異常が発生しました
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602502 トレイマトリクス教示
XY 軸動作で異常が発生しました
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602503 トレイマトリクス教示
XY 軸動作でタイムアウト異常が発生しました
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602504 トレイマトリクス教示
目合わせ教示で異常が発生しました
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1303-001
3.13 自動教示
4OM-1750
3-153
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
602601 コプラナリティ教示
コプラナリティ教示で異常が発生しました
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602602 コプラナリティ教示
認識異常が発生しました
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602603 コプラナリティ教示
コプラナリティユニットとの通信でタイムアウトが発生しました
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602701 テーブルオフセット教示
テーブルオフセット教示で異常が発生しました
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602702 テーブルオフセット教示
認識コマンド応答に異常がありました。
基板の搬入方向が間違っている可能性があるので、確認して下さい。
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602801 バックアップピン位置教示
バックアップピン位置教示で異常が発生しました
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602802 バックアップピン位置教示
認識コマンド応答に異常がありました
教示用のピンが配置されていることを確認してください
602803 バックアップピン位置教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
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602804 バックアップピン位置教示
バックアップピン位置オフセットが許容値を超えています
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602901 基板高さ測定センサ教示
基板高さ測定センサ教示で異常が発生しました
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602902 基板高さ測定センサ教示
認識コマンド応答に異常がありました
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602903 基板高さ測定センサ教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
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602904 基板高さ測定センサ教示
センサ位置オフセットが正しく計測できませんでした
基板高さ測定センサを再調整してください
602905 基板高さ測定センサ教示
基板高さセンサ測定で異常が発生しました
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1303-001
3.13 自動教示
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異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
602906 基板高さ測定センサ教示
基板高さセンサ測定でタイムアウトが発生しました
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602907 基板高さ測定センサ教示
基板高さ測定センサ教示の結果が許容値を超えています
基板高さ測定センサを再調整してください
602908 基板高さ測定センサ教示
基板高さ測定センサのゼロシフト処理で異常が発生しました
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603001 XY 原点教示
原点補正マーク認識に失敗しました。
教示開始位置を見直し、再度教示を実行してください。
604001 生産運転中の自動教示
ヘッド回転中心オフセット教示でノズル認識に失敗しました
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604002 生産運転中の自動教示
ヘッド回転中心オフセット教示で認識コマンド応答に異常がありました
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604003 生産運転中の自動教示
基準マークを認識できませんでした
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604101 装着高さ教示
サイドビューカメラで計測開始前に異常を検出しました
( サイドビューカメラが故障又は中異型ノズルが付いている可能性があります )
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604102 装着高さ教示
サイドビューカメラ STROBE 信号 OFF タイムアウト
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604103 装着高さ教示
DD 軸動作異常が発生しました
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604104 装着高さ教示
NS 軸動作異常が発生しました
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604105 装着高さ教示
DD/NS 軸動作異常が発生しました
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604106 装着高さ教示
DD/NS 軸動作タイムアウトが発生しました
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604107 装着高さ教示
HL 軸の駆動波形計算で異常が発生しました
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1303-001
3.13 自動教示