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4OM-1750 3-154 異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法 602906 基板高さ測定センサ教示 基板高さセンサ測定でタイムアウトが発生しました ----- 602907 基板高さ測定センサ教示 基板高さ測定センサ教示の結果が許容値を超えています 基板高さ測定センサを再調整してください 602908 基板高さ測定センサ教示 基板高さ測定センサのゼロシフト処理で異常が発生しました ----- 603001 XY 原点教示 …
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3-153
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
602601 コプラナリティ教示
コプラナリティ教示で異常が発生しました
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602602 コプラナリティ教示
認識異常が発生しました
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602603 コプラナリティ教示
コプラナリティユニットとの通信でタイムアウトが発生しました
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602701 テーブルオフセット教示
テーブルオフセット教示で異常が発生しました
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602702 テーブルオフセット教示
認識コマンド応答に異常がありました。
基板の搬入方向が間違っている可能性があるので、確認して下さい。
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602801 バックアップピン位置教示
バックアップピン位置教示で異常が発生しました
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602802 バックアップピン位置教示
認識コマンド応答に異常がありました
教示用のピンが配置されていることを確認してください
602803 バックアップピン位置教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
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602804 バックアップピン位置教示
バックアップピン位置オフセットが許容値を超えています
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602901 基板高さ測定センサ教示
基板高さ測定センサ教示で異常が発生しました
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602902 基板高さ測定センサ教示
認識コマンド応答に異常がありました
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602903 基板高さ測定センサ教示
認識との通信でタイムアウトが発生しました
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602904 基板高さ測定センサ教示
センサ位置オフセットが正しく計測できませんでした
基板高さ測定センサを再調整してください
602905 基板高さ測定センサ教示
基板高さセンサ測定で異常が発生しました
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1303-001
3.13 自動教示
4OM-1750
3-154
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
602906 基板高さ測定センサ教示
基板高さセンサ測定でタイムアウトが発生しました
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602907 基板高さ測定センサ教示
基板高さ測定センサ教示の結果が許容値を超えています
基板高さ測定センサを再調整してください
602908 基板高さ測定センサ教示
基板高さ測定センサのゼロシフト処理で異常が発生しました
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603001 XY 原点教示
原点補正マーク認識に失敗しました。
教示開始位置を見直し、再度教示を実行してください。
604001 生産運転中の自動教示
ヘッド回転中心オフセット教示でノズル認識に失敗しました
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604002 生産運転中の自動教示
ヘッド回転中心オフセット教示で認識コマンド応答に異常がありました
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604003 生産運転中の自動教示
基準マークを認識できませんでした
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604101 装着高さ教示
サイドビューカメラで計測開始前に異常を検出しました
( サイドビューカメラが故障又は中異型ノズルが付いている可能性があります )
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604102 装着高さ教示
サイドビューカメラ STROBE 信号 OFF タイムアウト
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604103 装着高さ教示
DD 軸動作異常が発生しました
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604104 装着高さ教示
NS 軸動作異常が発生しました
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604105 装着高さ教示
DD/NS 軸動作異常が発生しました
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604106 装着高さ教示
DD/NS 軸動作タイムアウトが発生しました
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604107 装着高さ教示
HL 軸の駆動波形計算で異常が発生しました
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1303-001
3.13 自動教示
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3-155
異常 ID 異常名、説明、要因および復帰方法
604108 装着高さ教示
NL 軸の駆動波形計算で異常が発生しました
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604109 装着高さ教示
HL/NL 軸の動作開始タイムアウトが発生しました
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60410a 装着高さ教示
HL 軸動作開始タイムアウトが発生しました
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60410b 装着高さ教示
NL 軸動作開始タイムアウトが発生しました
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60410c 装着高さ教示
HL/NL 軸の動作完了タイムアウトが発生しました
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60410d 装着高さ教示
サイドビューカメラのリアルタイム計測に失敗しました
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60410e 装着高さ教示
ヘッドに中異形ノズルが付いているか、またはサイドビューカメラ計測中に異常
を検出しました
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60410f 装着高さ教示
ノズルのフランジが所定範囲内に検出できませんでした ( 未遮光 )
ヘッド回転角度軸教示を実行後に再度高さ教示を全て再測定してください。
604110 装着高さ教示
ノズルのフランジが所定範囲内に検出できませんでした ( 遮光 )
ヘッド回転角度軸教示を実行後に再度高さ教示を全て再測定してください。
604111 装着高さ教示
ノズルのフランジ高さに変化がありませんでした ( ノズル押し込み未検出 )
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604112 装着高さ教示
プログラムエラーが発生しました
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604113 装着高さ教示
オフセットが設計値よりも -1mm を下回りました
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604114 装着高さ教示
オフセットが設計値よりも +1mm を超えました
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604115 装着高さ教示
流量計の値が、5.0V より高い値を示しています
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1303-001
3.13 自動教示