4M-1750-005w_G5S.pdf - 第65页
4OM-1750 1-16 (装置前面) (装置後面) ノズルストッカ部 基板位置決め部 ヘッド部 XYビーム部 部品認識カメラ部 カッタ部 フィーダベース駆動部 F4A7 1303-001 3.1 全体図
4OM-1750
1-15
3. メンテナンスか所
3.1 全体図
注 意
装置のカバーを外しての作業も含まれます。
メンテナンス終了後は、カバーを取付けてください。
装置前面
エア源
真空系統
フィーダカート部
F4A6
(a) 各部の詳細なメンテナンスか所およびメンテナンス方法について
は、“1 章 3.2”以降を参照してください。
(b) オプションについては、各特別仕様の取扱説明書を参照してメンテ
ナンスを行ってください。
1303-001
3. メンテナンスか所
4OM-1750
1-16
(装置前面)
(装置後面)
ノズルストッカ部
基板位置決め部
ヘッド部
XYビーム部
部品認識カメラ部
カッタ部
フィーダベース駆動部
F4A7
1303-001
3.1 全体図
4OM-1750
1-171303-001
4. 点検、清掃、給油か所
4. 点検、清掃、給油か所
各ユニット別に必要なメンテナンスについて記載します。
周期別に分類したメンテナンスの項目については、“1 章 2. メンテナン
スチェックリスト”を参照してください。
4.1 エア源
4.1.1 エアブロー圧の点検
周期：毎日（所要時間：1 分）
エアブロー圧
Fig. 4A9
手順
ケージ圧が初期設定 0.05MPa（0.5kgf/cm
2
）であることを目視で確認して
ください。
注 意
装置出荷時、設定済みですので、むやみに変更しないでください。