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4OM-1750 1-22 1303-001 4.2 真空系統 4.2.1 真空圧の点検 周期：毎日（所要時間：1 分） 真空圧 Fig. 4A16 手順 真空圧を目視で確認してください。 真空バルブ全開時 ： Min.-93kPa（Min.70cmHg）以上 運転時 ： Min.-60kPa（Min.45cmHg）以上 ノート 真空圧が不足している場合は、真空経路のエア漏れ、または真空ポンプ の故障が考えられます。 4.2 真空系統
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1-211303-001
(2) フィルタ押さえを左に回しながら引抜く。
フィルタ押さえ
Fig. 4A14
(3) フィルタを引抜き、エアブローを行い清掃する。
(4) フィルタを差込み、フィルタ押さえを右に回しながら取付ける。
(5) フィルタカバーを取付ける。
ノート
フィルタが不良になった場合は、新品と交換してください。
4.1 エア源
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4.2 真空系統
4.2.1 真空圧の点検
周期：毎日（所要時間：1 分）
真空圧
Fig. 4A16
手順
真空圧を目視で確認してください。
真空バルブ全開時 ： Min.-93kPa（Min.70cmHg）以上
運転時 ： Min.-60kPa（Min.45cmHg）以上
ノート
真空圧が不足している場合は、真空経路のエア漏れ、または真空ポンプ
の故障が考えられます。
4.2 真空系統
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4.2.2 フィルタの清掃
周期：3 か月ごと（所要時間：10 分）
フィルタケース
C
フィルタ
Fig. 4A17
手順
(1) 装置前面下部のカバーの固定ビス (4 本 ) を取外し、カバーを外す。
(2) フィルタケースを矢印 C の方向に回して取外し、中のフィルタを取
外す。
(3) フィルタにエアブローを行い清掃する。
ノート
フィルタは、運転時の真空圧が低下してきた場合は、新品と交換し
てください。
(4) カバーを上に押し当てながら取付け、固定ビスを締める。
注 意
本体装置とカバーの間に隙間があると、運転中に隙間からテープが
飛び出し、故障や異常の原因となります。
4.2 真空系統