NPM通用型转印装置 - 第54页
NPM X / NPM 通用型转印装置 4.1 转印材料的初始供给方法与成膜确认 Page 4-4 MFTU-EJM9BC-MB-04N-17 4 将注射器的前端贴在刮板的下方后向 转印台供给转印材料。 拆下注射器尾部的盖后，用结实的棒 状物将柱 塞往下压。 在离刮板双边缘约 10 mm 的范围内使注射器左 右反复移动几次。 转印材料的高度必须均匀。 若有凸起部分，溢出传感器可能会感 应出来。 5 注射器的柱塞下降 1 …
NPM X / NPM
通用型转印装置
4.1
转印材料的初始供给方法与成膜确认
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4.1
转印材料的初始供给方法与成膜确认
4.1.1
转印材料的初始供给方法
1
在注射器上粘贴刻度贴纸。
刻度贴纸的
1
刻度应相当于初期供给量。
与武藏高科技公司制
PSY-30E
同等规格
(
注射器内径
:
23 mm)
时
将初期投入量设为
5.5 cm
3
时，
1
刻度的长度为
: 13 mm
使注射器前端朝左侧，将注射器放置水平状态。
请将贴纸右边线对齐到注射器内的柱塞外形
线，然后粘贴。
关于初期供给量的计算，请参阅后述的
“
关于
初始供给量
”
。
2
将转印台移动，以使刮板的位置在离转
印台内壁约有
100 mm
之处。
此时请勿抬上或拿住转印台的把手。
有可能造成刮板前端损伤。
有可能造成调节量设定值变动。
从前侧往内侧推时，请用双手拿住转印台前侧
的角，在水平状态下往里推。
从内侧往前侧推时，请用双手拿住转印台内侧
的角，在水平状态下往外推。
3
拆下注射器前端的盖。
MFTU-NPM-PIC105
柱塞的外形线
刻度标签
注射器
注射器的前端
柱塞
MFTU-NPM-PIC106
约
100 mm
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转印材料的初始供给方法与成膜确认
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4
将注射器的前端贴在刮板的下方后向
转印台供给转印材料。
拆下注射器尾部的盖后，用结实的棒状物将柱
塞往下压。
在离刮板双边缘约
10 mm
的范围内使注射器左
右反复移动几次。
转印材料的高度必须均匀。
若有凸起部分，溢出传感器可能会感应出来。
5
注射器的柱塞下降 1 个刻度后，要停止
供给转印材料。
下降
1
个刻度表示已供给初期供给量
5.5 cm
3
。
(
注射器上粘贴的刻度贴纸的
1
刻度表示
5.5
cm
3
。
)
MFTU-152P
MFTU-NPM-PIC107
MFTU-NPM-PIC108
约
10 mm
约
10 mm
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6
供给完了后擦拭柱塞内壁上附着的转
印材料。
否则可能导致看不清刻度。
7
将转印台往前面移动
20 mm ~ 40 mm
左右。
此时请勿抬上或拿住转印台的把手。
有可能造成刮板前端损伤。
有可能造成调节量设定值变动。
请用双手拿住转印台前侧的角，在水平状态下
往里推。
安装刮刀装置时如果刮刀装置放在转印材料
上，转印材料被挤到刮刀后面，会造成材料损
耗。
该作业的目的是实现成膜稳定及减少转印材料
损耗。
转印材料
转印材料的损耗
转印台
刮刀
刮板
MFTU-153P
MFTU-NPM-PIC110
约
10 mm
转印台移动方向