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NPM X / NPM 通用型转印装置 4.1 转印材料的初始供给方法与成膜确认 MFTU-EJM9BC- MB-04N-17 Page 4-5 6 供给完了后擦拭柱塞内壁上附着的转 印材料。 否则可能导致看不清刻度。 7 将转印台往前面移动 20 mm ~ 40 mm 左右。 此时请勿抬上或拿住转印台的把手。 有可能造成刮板前端损伤。 有可能造成调节量设定值变动。 请用双手拿住转印台前侧的角，在水 平状态下 往里推…
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通用型转印装置
4.1
转印材料的初始供给方法与成膜确认
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将注射器的前端贴在刮板的下方后向
转印台供给转印材料。
拆下注射器尾部的盖后，用结实的棒状物将柱
塞往下压。
在离刮板双边缘约
10 mm
的范围内使注射器左
右反复移动几次。
转印材料的高度必须均匀。
若有凸起部分，溢出传感器可能会感应出来。
5
注射器的柱塞下降 1 个刻度后，要停止
供给转印材料。
下降
1
个刻度表示已供给初期供给量
5.5 cm
3
。
(
注射器上粘贴的刻度贴纸的
1
刻度表示
5.5
cm
3
。
)
MFTU-152P
MFTU-NPM-PIC107
MFTU-NPM-PIC108
约
10 mm
约
10 mm
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4.1
转印材料的初始供给方法与成膜确认
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6
供给完了后擦拭柱塞内壁上附着的转
印材料。
否则可能导致看不清刻度。
7
将转印台往前面移动
20 mm ~ 40 mm
左右。
此时请勿抬上或拿住转印台的把手。
有可能造成刮板前端损伤。
有可能造成调节量设定值变动。
请用双手拿住转印台前侧的角，在水平状态下
往里推。
安装刮刀装置时如果刮刀装置放在转印材料
上，转印材料被挤到刮刀后面，会造成材料损
耗。
该作业的目的是实现成膜稳定及减少转印材料
损耗。
转印材料
转印材料的损耗
转印台
刮刀
刮板
MFTU-153P
MFTU-NPM-PIC110
约
10 mm
转印台移动方向
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转印材料的初始供给方法与成膜确认
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在刮刀前端上涂敷转印材料。
为了降低开始运转时的摩擦阻抗，请用棉棒等
柔软的物体在刮刀前端的全部表面上薄薄地涂
敷转印材料。
锐利的物体可能会损伤刮刀，请勿使用。
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确认在刮刀装置安装面上有无异物或
附着物。
请清除刮刀装置安装面上的焊料和附着物。
P5-8-03
刮刀装置安装面
(
调整板
)
P5-8-01
P5-8-02
刮刀前端