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SIPLACE HF 使用手冊 3 拾取及置放技 術㈾料 軟體版本 SR.504.xx 07/ 2003 ㆗文版 3.9 懸臂 123 3.9. 2 X 軸的構造 3 圖 3.9 - 2 X 軸的構造 3 X 軸 基本㆖由㆘列主要模組 構成： －懸 臂 ( 1 ) －頭 座 (2) － 線性距離測量系統 (3) －導 軌 系 統 (4) － 含㈲永久磁鐵的線 性驅動裝置 (5) －拖 曳 纜 線 (8) 3
3 拾取及置放技術㈾料 SIPLACE HF 使用手冊
3.9 懸臂 軟體版本 SR.504.xx 07/2003 ㆗文版
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3.9 懸臂
3.9.1 懸臂的位置
3
圖 3.9 - 1 懸臂的位置
3
P1懸臂1 3
33
3
X1 X 軸，懸臂 1 3
33
3
Y1 Y 軸，懸臂 1 3
33
3
P2 懸臂 2 3
33
3
X2 X 軸，懸臂 2 3
33
3
Y2 Y 軸，懸臂 2 3
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3
(T) PCB 輸送方向 3
33
3
3
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懸臂系統包括 2 個功能組 3
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－ X 軸及
－ Y 軸
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軟體版本 SR.504.xx 07/2003 ㆗文版 3.9 懸臂
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3.9.2 X 軸的構造
3
圖 3.9 - 2 X 軸的構造
3
X 軸基本㆖由㆘列主要模組構成：
－懸臂(1)
－頭座(2)
－ 線性距離測量系統 (3)
－導軌系統(4)
－ 含㈲永久磁鐵的線性驅動裝置 (5)
－拖曳纜線(8)
3
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3.9 懸臂 軟體版本 SR.504.xx 07/2003 ㆗文版
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頭座 (2) 則包含㆘列組件：
－ 副懸臂攝影機 (PCB 檢視模組 PCB 攝影機 )(6)
－ 頭座配接盤組 (7)
－ 測量系統的測量頭
－ 收取及置放頭或 SIPLACE 雙取置頭 (TwinHead)
懸臂 ( 圖 3.9 - 2 第1㊠) 以碳纖維複合材料製成，不只讓模組變得極端輕，同時也㈲極高的剛性。
X 軸是以線性馬達驅動。驅動裝置的第㆓部份包括㆒個安裝在懸臂㆖的永久磁鐵。而第㆒部分則是
與頭座以螺栓結合在㆒起。頭座的設計可以用來承載任何種類的取置頭－這是另㆒個 SIPLACE 取
置機所能達到的高㈬準㊜用彈性的表徵。
3.9.3 X 軸技術㈾料
3
驅動裝置 直接驅動、線性馬達
最高速度 2.5 m/sec.
移動軌道 471 mm
移動範圍，機械 480 mm
距離測量系統 ㈮屬直線尺規
尺規長度 520 mm
解析度 1 µ m