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3 拾取及置放 技術㈾料 SIPLACE HF 使用手冊 3.9 懸臂 軟體版本 SR.504.xx 0 7/2003 ㆗文版 126 Y 軸 基本㆖由㆘列主要 模組構成： 3 3 3 3 － 含㈲永久磁鐵的線性 驅動裝置 ( 1 ) － 導軌系統 (2) － 線性距離測量系統 (3) － 拖曳纜線 (4) 3 3 3 3 Y 軸 是以線性馬達驅動 。 第㆓部份的驅 動是由安裝在 機架㆖的永久 磁鐵所產生的 。 而第㆒部分則 是 與懸臂…
SIPLACE HF 使用手冊 3 拾取及置放技術㈾料
軟體版本 SR.504.xx 07/2003 ㆗文版 3.9 懸臂
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3.9.4 Y 軸的構造
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圖 3.9 - 3 Y 軸的構造
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(1) 含㈲永久磁鐵的線性驅動裝置
(2) 導軌系統
(3) 線性距離測量系統
(4) 拖曳纜線
3 拾取及置放技術㈾料 SIPLACE HF 使用手冊
3.9 懸臂 軟體版本 SR.504.xx 07/2003 ㆗文版
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Y 軸基本㆖由㆘列主要模組構成： 3
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3
－ 含㈲永久磁鐵的線性驅動裝置 (1)
－ 導軌系統 (2)
－ 線性距離測量系統 (3)
－ 拖曳纜線 (4)
3
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Y 軸是以線性馬達驅動。第㆓部份的驅動是由安裝在機架㆖的永久磁鐵所產生的。而第㆒部分則是
與懸臂以螺栓結合在㆒起。 3
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3.9.5 Y 軸技術㈾料
驅動裝置 直接驅動、線性馬達
最高速度 2.5 m/sec.
懸臂移動路徑
1430 mm
距離測量系統 ㈮屬直線尺規
尺規長度 1850 mm
解析度 1 µ m
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軟體版本 SR.504.xx 07/2003 ㆗文版 3.10 檢視模組
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3.10 檢視模組
每個 6 取置節及 12 取置節 / 取置頭都㈲㆒個單獨的元件檢視模組 ( 參閱 94 頁圖 3.3 - 2 及 99 頁圖 3.3
- 5)。靜止 P&P 元件檢視攝影機 (Type 22) 50 被固定於機架㆖。 3
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靜止 P&P 元件檢視攝影機 (Type 22，50 x 40) 的組裝位置 3
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圖 3.10 - 1靜止P&P 元件檢視攝影機 (Type 22，50 x 40) 的組裝位置
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(1) 位置 1 的組裝位置
(2) 位置 3 的組裝位置
雙取置頭
(TwinHead)
靜止 P&P 元件檢視攝影機 (Type 22) 50 x 40
懸臂 1 位置 1
懸臂 2 位置 3