FX-3_Maintenance_Rev2_C - 第160页
Rev 2.00 维修调整要领书 13-25 13-5 . XY 装置 XY 装置由检测驱动 XY 轴 AC 伺服放大器和移动位置的电磁标尺构成 。 13-5-1 . XY 装置构成 AC 伺服放大器一共装有 12 台, 4 台是驱动 X 轴的 AC 伺服放大器,另 8 台是驱动 Y 轴的伺服放大器。 图 13-5-1-1 XY 装置的构成 (底座架内左侧) 图 13-5-1-2 XY 装置的构成(底座架内右侧) 40048019 X …

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13-24
【更换顺序】
①
。
更换工作一定要在主电源和主自动断路器、主开关都处于关闭的状态下进行
② 电池装置被配置在底座架右前侧、ATX 电源 (40048006)
。
的下侧
若拧松 2 根 SL6041092TN,就能和 BATTERY SUPPORT (40047082)
。
一起拆卸下来
另外,拆下与 ATX
。
电源相连接的电缆
③ 若从 BATTERY SUPPORT (40047082)中拆下 4 根 INCH SCREW (40048047)
。
,就能拆卸下来
④
。
把电装置池换成新的,按照与拆卸时相反的顺序进行安装
图 13-4-10-1 拆卸电池组
SL4030691SC ×2
带垫片内六角螺栓 M3×6
40048006
ATX电源
40048007 ×4
INCH SCREW
40063463
ATX BRACKET
40063462
ATX底座
SL4040891SC ×2
带垫片内六角螺栓 M4×8
40048007
电池组
40047082
电池托架
SL6041092TN
带垫片内六角螺栓 M4×10
40048007 ×4
INCH SCREW

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13-25
13-5. XY装置
XY装置由检测驱动XY轴 AC 伺服放大器和移动位置的电磁标尺构成。
13-5-1. XY装置构成
AC 伺服放大器一共装有 12 台,4 台是驱动 X 轴的 AC 伺服放大器,另 8 台是驱动 Y 轴的伺服放大器。
图 13-5-1-1 XY 装置的构成 (底座架内左侧)
图 13-5-1-2 XY 装置的构成(底座架内右侧)
40048019
X轴AMP
40048020
Y轴AMP
X(LF) X(LR) YL(LF) YR(LF) YL(LR) YR(LR)
40048019
X轴AMP
40048020
Y轴AMP
X(RF) X(RR) YL(RF) YR(RF) YL(RR) YR(RR)

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13-26
【更换后的调整项目】
更换伺服放大器时,必须利用各轴的伺服放大器的旋转开关(SW1)进行轴选择设置。
请打开伺服放大器前面的盖罩,转动选轴用的旋转开关(SW1),使箭头指向下表的设置值。
请确认直插式开关(SW2)为 OFF 状态。
表 13-5-1-1 转动开关的设定
伺服放大器 选轴开关设置值
X (LF) 0
X (LR) 1
YL (LF) 0
YR (LF) 1
YL (LR) 2
YR (LR) 3
X (RF) 0
X (RR) 1
YL (RF) 0
YR (RF) 1
YL (RR) 2
YR (RR) 3
13-5-2. XY伺服放大器的显示器显示
XY 伺服放大器正面装有指示状态的 7 段 LED。
一般情况下显示如下。
表 13-5-1-2 7 区段显示
显示 Ab C# d#
内容 正在初始化
→
伺服 OFF
→
伺服 ON
* #显示轴编号(参照下表)。
表 13-5-1-3 7 区段显示
轴 轴编号#
X (LF) 轴 01
X (LR) 轴 02
YL (LF) 轴 01
YR (LF) 轴 02
YL (LR) 轴 03
YR (LR) 轴 04
X (RF) 轴 01
X (RR) 轴 02
YL (LF )轴 01
YR (LF) 轴 02
YL (LR) 轴 03
YR (LR) 轴 04
1
2
ON
SW1
SW2