FX-3_Maintenance_Rev2_C - 第30页

Rev 2.00 维修调整要领书 3-3 3-3 ． 坏标记传感器的更换 3-3-1 ． 传感器部 1 ） 拆下 ① 带垫片内六角螺钉 （× 2 ）、 BM 镜头支架 A （ B ） 。 （图为 BMR 镜头支架 A （ RR 贴装头用） ） 2 ） 先拆下 ② 螺母、 ③ 垫圈，再拆下 ④ 镜头。 3 ） 装配请按相反的步骤进行。 BMR 镜头支架 B （ LR 贴装头用）也同样进行。 ※ ② 螺母（ 2 个）和 ③ 垫圈是光纤装置的…

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Rev 2.00
维修调整要领书
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①紧固扭矩：0.9N·m
②SM6034002TN
内六角螺栓 M3×40
②紧固扭矩：0.6N·m
E3052729000
贴装头过滤器
③SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
40068171
大气开放用过滤器
④带垫片内六角螺钉（×2）
①SM6031602TN
内六角螺栓 M3×16
3-2． 过滤器的更换
降低主体的原压力，进行更换。
＜贴装头过滤器的更换＞
1） 先拆卸① cap（×2）、② cap（×2），再拆卸过滤器箱 U。
（过滤器箱 U 下面有 O 形环。注意不要弄丢。）
2） 取出过滤器并进行更换。
3） 装配请按相反的步骤进行。
4） 更换后请用手动控制贴装头真空计并按 ON/OFF 的方式进行确认。
＜电磁阀大气开放用过滤器的更换＞
1） 先拆卸③带垫片内六角螺钉（×2）再拆卸 SV 保护罩。
2） 拧松④螺钉（×2），然后拆卸大气开放用过滤器。
（只要拧松螺钉就可以拆下过滤器）
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ ④带垫片内六角螺栓（2 个）是电磁阀的附属品。
图 3-2-1 贴装头过滤器的更换
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3-3． 坏标记传感器的更换
3-3-1． 传感器部
1） 拆下①带垫片内六角螺钉（×2）、BM 镜头支架 A（B）。（图为 BMR 镜头支架 A（RR 贴装头用））
2） 先拆下②螺母、③垫圈，再拆下④镜头。
3） 装配请按相反的步骤进行。
BMR 镜头支架 B（LR 贴装头用）也同样进行。
※ ②螺母（2 个）和③垫圈是光纤装置的附属品。
图 3-3-1-1 BMR 镜头更换
①SL6030692TN
带垫片内六角螺栓 M3×6
RR贴装头：BMR镜头支架A
LR贴装头：BMR镜头支架B
②螺母
③垫圈
②螺母
④E9638729000
光纤镜头
7㎜
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3-3-2． 传感器高度的调整
把坏标记传感器向 CAL 部上移动，把坏标记传感器面和 CAL 部上面的距
离调整为 28 0
+05
mm，拧松 cap（2 处），移动 BMR 镜头架，调整到规定值。
调整后，请用带垫片内六角螺钉固定好。
安装后，输入 MS 参数中的坏板标记传感器偏差。
（输入请参照 MS 参数。）
图 3-3-2-1 镜头高度的调整
注意
为了防止对人体造成伤害，触摸屏、HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，也不
要将脸和头部靠近机器。
3-3-3． 放大器部
1） 把放大器部分一边往下按一边往面前拉拆卸放大器部分。（图为 RR 贴装头）
2） 装配请按相反的步骤进行。LR 贴装头也同样进行。
图 3-3-3 放大器部的安装
CALﾌﾞﾛｯｸ
上面
带垫片内六角螺钉
M3×6
BMR 镜头架
CAL 部
上部
40047981
坏标记光纤放大器组件