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Rev 2.00 维修调整要领书 3-9 3-5 ． 贴装头电路板的更换 3-5-1 ． 贴装头主电路板的更换 1 ） 先拆下 ① 圆头螺钉（× 6 ）、 ② 加紧器（× 2 ），再拆卸主保护罩。 2 ） 先拆下各种插头，然后拆下 ③ 带垫片内六角螺钉（× 6 ）后拆贴装头主电路板。 3 ） 装配请按相反的步骤进行。 ※ 贴装头主电路板在出库时都是调整好的，所以不需要进行调整作业。 如有故障，请按照 QA 表 10-8 页 “Head …
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3-4-3． 贴标签
请把标签脱脂后贴到贴标签部位。（图为 LF、RR 贴装头）
LF、RR 贴装头与扎线的引出方向是相反的。密封标签请贴在正面可以看到的方向。
图 3-4-3-1 放大器的更换（左：标签／右：贴了标签后）
3-4-4． HMS高度调整
在 CAL 部上移动 HMS 传感器，传感器下面到 CAL 部上面的距离为４０±０．２ｍｍ。请拧松 2 处的①带
垫片内六角螺钉，调整到规定值。此时，ＦＡＲ灯和ＮＥＡＲ灯均亮灯，请进行确认。调整后，用 2 处的①
带垫片内六角螺钉进行固定。
图 3-4-4-1 HMS 传感器高度调整
调整后，请输入ＭＳ参数，ＨＭＳ偏差值。输入请参照ＭＳ参数。
注意
为了防止对人体造成伤害，触摸屏、HOD 操作时，请勿将手伸进机器内，也不
要将脸和头部靠近机器。
40±0.2㎜
①SM6032002TN
内六角螺栓 M3×20
CAL 部上面
【HMS传感器指示灯 点灯状态】
NEAR/FAR 两灯都亮： 测定中心距离±1mm
NEAR 灯亮： 测定范围内近距离
FAR 灯亮： 测定范围内远距离
NEAR/FAR 两灯都不亮： 测定范围外
FAR 灯 NEAR 灯
图 3-4-4-2 透镜指示灯
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3-5． 贴装头电路板的更换
3-5-1． 贴装头主电路板的更换
1） 先拆下①圆头螺钉（×6）、②加紧器（×2），再拆卸主保护罩。
2） 先拆下各种插头，然后拆下③带垫片内六角螺钉（×6）后拆贴装头主电路板。
3） 装配请按相反的步骤进行。
※ 贴装头主电路板在出库时都是调整好的，所以不需要进行调整作业。
如有故障，请按照 QA 表 10-8 页“Head 真空电平以及温度传感器输出电平”进行检查。
图 3-5-1-1 主保护罩
图 3-5-1-2 贴装头主电路板的更换
①SM3040652TN
圆头螺钉 M4×6
②加紧器
主保护罩
③SL4030691SC
带垫片内六角螺钉 M3×6
40047506
贴装头主电路板组件
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3-6． ZT驱动电路板的更换
3-6-1． ZT驱动电路板的更换
1） 请参照 02 章 2-1 贴装头装置的更换和更换后的调整 2）、3）、9）、10）。
2） 从 ZT 驱动支撑装置中拆下①带垫片内六角螺钉（×8），然后请拆下 ZT 驱动电路板。
3） 装配请按相反的步骤进行。
图 3-6-1-1 驱动电路板更换
①SL4030691SC
带垫片内六角螺钉 M3×6
40044535
4轴整体型伺服放大器
40047343
ZT驱动支撑装置