FX-3_Maintenance_Rev2_C - 第78页
Rev 2.00 维修调整要领书 9-6 9-4 ． 真空泵零件的更换 使用開始后， 毎隔 3000 小时对表 1 的损耗零件组货号 (40068178) 进行定期检查， 如有异常请参照下述 操作顺序进行更换、清洁。 【更换零件一览表】 （更换零件组货号： 40068178 ） 点检位置 使用数量 点检内容 点检方法 吸气阀防止干涉橡胶 4 变形、磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视 吸·排气阀 12 变形、硬化、缺损的有无 目视 排气阀倒挡…
Rev 2.00
维修调整要领书
9-5
<设置步骤>
图 9-3-1-1 数字压力开关
１） 显示模式和磁滞模式的设定
① 持续按
2秒钟以上。显示变为 。（变为显示颜色设定模式）
② 用
或 使成为 的显示，按 。（以 SW ON 设定为緑色显示）
③ 用
或 使成为 的显示，按 。（变为磁滞设定模式）
④ 用
或 使成为 的显示，按 。（设定为正常开启动作）
⑤ 用
或 使成为 的显示，按 。（响应时间设定为 2.5ms 以下）
⑥ 用 或 使成为 的显示，按 。（设定为手动设置模式）
⑦ 在此，显示出现数字，回到测定模式。
２） 测量标准的设定（阈值和磁滞）
① 请在测定模式的状態下按
。 和当前的阈值将交替显示。
② 如按
或 ，数字的最后位闪烁，持续按住则数值增加或減小。
③ 如按
，正在闪烁的数位向右迁移。
④ 请通过②、③的操作使显示成为
，按 键 2 秒钟以上。（阈值设定为-60.0kPa）
⑤
和当前的设定值将交替显示。请按 。
⑥
和当前的磁滞将交替显示。
⑦ 如按
或 ，数字的最后位闪烁，持续按住则数值增加或減小。
⑧ 如按
，正在闪烁的数位向右迁移。
⑨ 请通过⑥和⑧操作使显示成为
，按 键 2 秒钟以上。（磁滞设定为 0.50kPa）
⑩ 到此已回到测定模式。设定到此结束。
『△』按钮 『▽』按钮
LED显示
『SET』按钮
Rev 2.00
维修调整要领书
9-6
9-4． 真空泵零件的更换
使用開始后，毎隔 3000 小时对表 1 的损耗零件组货号 (40068178)进行定期检查，如有异常请参照下述
操作顺序进行更换、清洁。
【更换零件一览表】 （更换零件组货号：40068178）
点检位置 使用数量 点检内容 点检方法
吸气阀防止干涉橡胶 4 变形、磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
吸·排气阀 12 变形、硬化、缺损的有无 目视
排气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
皮碗式密封件 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
垫圈 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
吸气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
尼龙软管 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
外
部
消音器 1 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
表 9-4-1 真空泵损耗零件
<更换准备>
1） 请确认①真空泵没有运转。
（因为稍微运转后就会变热所以请注意。）
2） 请打开后侧正面的开闭保护罩。
3） 取下与真空泵相连接的空气软管，用六角扳手拆下
②泵支撑装置。
4） 把真空泵从主体中拆卸下来。（拆卸的时候要注意
扎线。）
图 9-4-1 真空泵
5） 打开端子箱保护罩，去除连接到端子台上的配线。
①40047064
真空泵组件
②泵支架
SL6061292TN
带垫片内六角螺栓M6×12
WP0841601SC
平垫圈M8
③
图 9-4-2 拆卸束线
Rev 2.00
维修调整要领书
9-7
6） 用对边 5mm 的六角扳手拧松固定手柄的带六角孔
螺钉 M6×L16。
图 9-4-3 取下螺钉
7） 去除手柄和板。
图 9-4-4 拆卸手柄·面板螺钉
8） 将泵朝着纵向以便更换的贴装头向上来。