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Rev 2.00 维修调整要领书 9-7 6 ） 用对边 5mm 的六角扳手拧松固定手柄的带六角孔 螺钉 M6 × L16 。 图 9-4-3 取下螺钉 7 ） 去除手柄和板。 图 9-4-4 拆卸手柄·面板螺钉 8 ） 将泵朝着纵向以便更换的贴装头向上来。
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9-4． 真空泵零件的更换
使用開始后，毎隔 3000 小时对表 1 的损耗零件组货号 (40068178)进行定期检查，如有异常请参照下述
操作顺序进行更换、清洁。
【更换零件一览表】 （更换零件组货号：40068178）
点检位置 使用数量 点检内容 点检方法
吸气阀防止干涉橡胶 4 变形、磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
吸·排气阀 12 变形、硬化、缺损的有无 目视
排气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
皮碗式密封件 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
垫圈 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
吸气阀倒挡器 4 异常的磨耗、硬化、龟裂等的有无 目视
尼龙软管 4 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
外
部
消音器 1 变形、硬化、龟裂等的有无 目视
表 9-4-1 真空泵损耗零件
<更换准备>
1） 请确认①真空泵没有运转。
（因为稍微运转后就会变热所以请注意。）
2） 请打开后侧正面的开闭保护罩。
3） 取下与真空泵相连接的空气软管，用六角扳手拆下
②泵支撑装置。
4） 把真空泵从主体中拆卸下来。（拆卸的时候要注意
扎线。）
图 9-4-1 真空泵
5） 打开端子箱保护罩，去除连接到端子台上的配线。
①40047064
真空泵组件
②泵支架
SL6061292TN
带垫片内六角螺栓M6×12
WP0841601SC
平垫圈M8
③
图 9-4-2 拆卸束线
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6） 用对边 5mm 的六角扳手拧松固定手柄的带六角孔
螺钉 M6×L16。
图 9-4-3 取下螺钉
7） 去除手柄和板。
图 9-4-4 拆卸手柄·面板螺钉
8） 将泵朝着纵向以便更换的贴装头向上来。
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<贴装头保护罩的拆卸方法>
1） 用六角扳手拧松固定贴装头保护罩的４根带六角孔螺钉 M6×
L30 取下带六角孔螺钉。
图 9-4-5 拆卸贴装头保护罩止动螺钉
2） 拆下贴装头保护罩。
图 9-4-6 拆卸贴装头保护罩
<气缸的拆卸方法>
1） 在拆卸汽缸之前先在盖子和汽缸上用油性笔做上标注。
图 9-4-7 标记
2） 带上手套，然后把叶片往上旋转。
（此时，一定要带手套）
图 9-4-8 转动风扇
3） 把汽缸从上面取出。
贴装头保护罩
气缸
图 9-4-9 拆卸气缸