KE-2070_2080_OperationManual1_C_Rev00.pdf - 第21页
操作手册Ⅰ Rev00 〈顺序 5〉检查基板的传送状况。 请在 IN 缓冲（传送带站台）上设置基板，确认在连续动作时基板移动流畅无阻。 显示传送控制画面。 2 .请选择「基板搬进（外 形基 准） 」 。 1. 请输入基板厚度。 使基板搬入·固定。 3. 请按下「执行」 。 选择「基板搬出」 ，按下「执行」后， 即可搬出基板 。 选择「传送动作」 。 请在简易准备画面上 10 2-
操作手册Ⅰ Rev00
〈顺序 4〉调整夹杆 X
・
夹杆 Y。
①在个别控制传送画面上选择「外形基准汽缸」，运行夹杆 X 和夹杆 Y。
② 请调整夹杆 X 的位置。
请选择「外形基准汽缸」。
夹杆 X
・
夹杆 Y 会同时移动起来。
操作「打开」/「关闭」。
转动调节手柄，对准基板调整夹杆 X
的位置。夹杆 X 与基板之间留下 0.5mm
空隙，调整好后，把调节挡销固定住。
夹杆 Y
夹杆 X
若是薄基板，请确认基板固定后有无
上翘。
基板上翘时，请调整夹杆的压力。
※ 调整夹杆 Y 的压力，请参见『使用说
明书 CD』的「2-7-1-4 外形基准的调
整方法」。
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操作手册Ⅰ Rev00
〈顺序 5〉检查基板的传送状况。
请在 IN 缓冲（传送带站台）上设置基板，确认在连续动作时基板移动流畅无阻。
显示传送控制画面。
2.请选择「基板搬进（外形基
准）」。
1. 请输入基板厚度。
使基板搬入·固定。
3. 请按下「执行」。
选择「基板搬出」，按下「执行」后，
即可搬出基板。
选择「传送动作」。
请在简易准备画面上
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操作手册Ⅰ Rev00
〈顺序 6〉确认外形基准位置·进行示教（对准位置）。
在〈顺序 2〉调整了停止挡销时，需要对准「外形基准位置」。
①请搬入基板。（参见〈顺序 5〉）
②显示设置外形基准位置画面。
③ 用 HOD，确认·示教「X（停止挡销）」的位置。
选择「外形基准位置」。
把画面上的光标对准「Ｘ（停止挡
销）」。
※X 停止挡销 ＝ 挡销
＜HOD＞
※ 示教方法的详细内容、请参见『使用说明书 CD』的「4-5-2 示教」。
挡销
基板
2. 边看示教监视器，边操作 HOD
的✡-θ-X、+θ+Y✡键，使基
板和挡销接触线在 X 方向的中
心。
3. 对好位置后，请按下「ENTER」，
便会出现数值。
1. 请按下「CAMERA」。
注意
为防止人体受伤，操作ＨＯＤ时请不要把手伸进装置内部，头部·脸
部也不要靠近装置。
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