KE-2070-2080保守(Maintenance Guide) - 第129页
Rev1.00c 维修调整要领书 10-3. 真空计的更换 1) 请确认真空泵未在运行。 2) 请取下护罩 FB 。 3) 请从真空计上取下φ6空气管。 4) 旋转真空计背面的树脂部件,卸下真空计。 5) 装配时请按照相反的顺序进行。 面板 真空计 树脂固定部件 10-4

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10-2. 滤清器的更换
1) 以便把滑动部下降,以便把主体向左或右转动45度然后拔下来三。
2) 更换空气滤清器侧的滤清器B时,向左转动固定滤清器B的树脂零件就可以卸下来。
3) 更换喷雾器侧的滤清器A时,把滤清器A向左转动就可以卸下来。
4) 安装时,请按照相反的程序进行。
注) 作业之前,请关闭蝶阀。
滤清器的寿命为 2 年或压力下降到0.1MPa(1kgf/c㎡)后
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PF901006000
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PF901002000
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10-3

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10-3. 真空计的更换
1) 请确认真空泵未在运行。
2) 请取下护罩 FB。
3) 请从真空计上取下φ6空气管。
4) 旋转真空计背面的树脂部件,卸下真空计。
5) 装配时请按照相反的顺序进行。
面板
真空计
树脂固定部件
10-4

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10-4. 真空泵部件的更换(选项品)
1) 请确认真空泵未在运行。
(运行刚结束时温度高,故请注意。)
2) 松开装风扇组的螺丝,向身前拉出。
3) 请用附属的 T 型扳手卸下真空泵的前面护罩。
4) 请把泵过滤器从凹洞中取出。
5) 请把泵叶片从回转部分的槽中拔出。
(更换叶片时,请将 8 片一起更换。)
※ 更换时,每片都要注意安装的方向。
6) 装配时请按照相反的顺序进行。
(×8 片)
风扇组
真空泵
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