KE-2070-2080保守(Maintenance Guide) - 第130页
Rev1.00c 维修调整要领书 10-4. 真空泵部件的更换（选项品） １） 请确认真空泵未在运行。 （运行刚结束时温度高，故请注意。） ２） 松开装风扇组的螺丝，向身前拉出。 ３） 请用附属的 T 型扳手卸下真空泵的前面护罩。 ４） 请把泵过滤器从凹洞中取出。 ５） 请把泵叶片从回转部分的槽中拔出。 （更换叶片时，请将 8 片一起更换。） ※ 更换时，每片都要注意安装的方向。 ６） 装配时请按照相反的顺序进行。 （× 8 片） 风扇…
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维修调整要领书
10-3. 真空计的更换
１） 请确认真空泵未在运行。
２） 请取下护罩 FB。
３） 请从真空计上取下φ６空气管。
４） 旋转真空计背面的树脂部件，卸下真空计。
５） 装配时请按照相反的顺序进行。
面板
真空计
树脂固定部件
10-4
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10-4. 真空泵部件的更换（选项品）
１） 请确认真空泵未在运行。
（运行刚结束时温度高，故请注意。）
２） 松开装风扇组的螺丝，向身前拉出。
３） 请用附属的 T 型扳手卸下真空泵的前面护罩。
４） 请把泵过滤器从凹洞中取出。
５） 请把泵叶片从回转部分的槽中拔出。
（更换叶片时，请将 8 片一起更换。）
※ 更换时，每片都要注意安装的方向。
６） 装配时请按照相反的顺序进行。
（×8 片）
风扇组
真空泵
10-5
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11-1
危险 为了防止突然的起动，造成的事故，请关掉电源之后再操作。
11 ＳＷ类
11-1．按键开关的更换
4
5
6
3
7
8
7
3
2
1
① 伺服ＳＷ
② 起动ＳＷ
③ 在线ＳＷ
④ 原点ＳＷ
⑤ 停止ＳＷ
⑥ 信号灯ＳＷ
⑦ 供料器ＳＷ
⑧ 键盘变换ＳＷ
１） 卸下前侧ＰＷＢ护罩。
２） 卸下操作基板。
２）
３） 卸开关时，请用手按住护罩背面开
关上的金属部件，然后向前拔，就
可以卸下来。
（其构成请参看 14-9-3-2 章。）
４） 安装时，请按照相反的程序安装。
图 11-1-1
引き抜く
押す
押
す
SW
图 11-1-2
按
拔
按