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3-35 3 5 .3 기 판 반 송 부의 W 축 여 기 에 서 는 , 기 판 반송 부 의 W 축 의 청 소 와 급유 방 법 에 대 해 서 설 명 합 니 다 . 급 유 개 소 와 급유 형 태 에 관해 서 는 , 「제 5 장 급 유 개 소 일 람 」 을 참 조 해 주 십 시 오 . 5 .3 . 1 W 축 볼 스 크류 /6 각 스플라 인의 청소 와 급 유 1 컨베이어를 최대 폭으 로 합 니다 . …
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3
0
벨트의 장착 상태를 확인합니다 .
1. 기판 클램프 보드의 상면의 위치가 벨트 상면
보다 약 0.5mm 낮은 위치에 있는지 확인해
주십시오 .
2. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
3. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어 구동 ]
버튼으로 벨트를 회전시켜서 동작상태를 확인
하여 주십시오 .
4. 컨베이어 벨트의 회전이 고르지 못하거나 벨트
가 느슨할 경우는 , 텐션 풀리의 위치를 다시
조정해 주십시오 .
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c
주의
벨트의 상면과 기판 클램프 상면의 높이에 거의 차이가 없으면 ,
기판 반송에러가 발생할 가능성이 있습니다 .
그럴 경우에는 , 야마하 또는 대리점으로 연락해 주십시오 .
벨트의 장착상태 확인
Step 10
[컨베이어 구동] 버튼
0.5 mm
기판 클램프 보드
벨트 상면
기판 클램프 보드
컨베이어 벨트
<컨베이어 동작확인>
좌 우
저속 좌 저속 우
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3
5.3 기판 반송부의 W 축
여기에서는 , 기판 반송부의 W 축의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 ,
「제 5 장 급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
5.3.1 W 축 볼스크류 /6 각 스플라인의 청소와 급유
1
컨베이어를 최대폭으로 합니다 .
1. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어폭 ]
버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」변경 화면을
표시합니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」에 컨베이어의 최대폭
을 입력하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
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참고
컨베이어의 최대폭은 표준사양으로 460mm 이며 ,
sATS15 를 겸비하고 있을 경우는 , 360mm 입니다 .
2
볼스크류와 6 각 스플라인을 청소합니
다.
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 볼스크류와 6 각 스플라인 ( 각 2 개 ) 전체를
먼지가 발생하지 않는 종이 와이퍼 ( 크린룸
용 ) 등으로 오래된 구리스나 더러움을 제거합
니다 .
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n
요점
청소 작업시에는 볼스크류의 리드 홈도 깨끗하게 닦아 주십
시오 . 또한 , 이물질의 발생 여부도 확인합니다.
3
컨베이어를 최소폭으로 합니다 .
1. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어폭 ]
버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」변경 화면을
표시합니다 .
3. 「변경후의 컨베이어폭」에 컨베이어의 최소폭
(50mm) 을 입력하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
4
나머지 부분을 청소합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. Step2 에서 청소한 나머지 다른 부분을 종이
와이퍼로 닦아냅니다 .
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컨베이어 폭의 변경
Step1
[컨베이어 폭] 버튼 컨베이어의 최대폭을 입력
볼스크류와 6각 스플라인의 청소
Step 2
종이 와이퍼
볼스크류
6각 스플라인
나머지 부분의 청소
Step 4
나머지 부분을 닦아낸다
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3
5
구리스를 도포합니다 .
1. 컨베이어를 최소폭으로 한 상태에서 , 보호
장갑을 낀 손에 지정 구리스 (NSL) 를 묻혀서
볼스크류와 6 각 스플라인의 표면 및 리드 홈
부분에 균일하게 도포해 주십시오 .
2. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
3. Step1과 같이 컨베이어를 최대폭으로 합니다.
e
4. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
5. 상기에서 도포한 나머지 다른 부분에 구리스
를 도포합니다 .
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6
구리스를 스며들게 합니다 .
1. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
2. Step1, Step3 과 같은 식으로 컨베이어를
최대 - 최소폭으로 수차례 반복해서 구리스를
스며들게 합니다 .
7
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 볼스크류와 6 각 스플라인의 단면에 고여 있는
여분의 구리스를 닦아 냅니다 .
구리스의 도포
Step 5
구리스를 균일하게 도포