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3-36 3 5 구리스 를 도 포합니다 . 1 . 컨베 이 어 를 최 소폭 으로 한 상 태 에서 , 보호 장갑을 낀 손에 지정 구리 스 (NS L) 를 묻혀서 볼스크 류 와 6 각 스플 라 인 의 표 면 및 리 드 홈 부분에 균일하 게 도포 해 주십시 오 . 2. 장비의 안전 커 버 를 닫 고 , 비상정 지 상태를 해제합 니다 . 3. Ste p 1 과 같 이 컨베 이어 를 최 대 폭 으로 …
3-35
3
5.3 기판 반송부의 W 축
여기에서는 , 기판 반송부의 W 축의 청소와 급유방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 ,
「제 5 장 급유개소 일람」을 참조해 주십시오 .
5.3.1 W 축 볼스크류 /6 각 스플라인의 청소와 급유
1
컨베이어를 최대폭으로 합니다 .
1. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어폭 ]
버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」변경 화면을
표시합니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」에 컨베이어의 최대폭
을 입력하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
58308-KMG-00
참고
컨베이어의 최대폭은 표준사양으로 460mm 이며 ,
sATS15 를 겸비하고 있을 경우는 , 360mm 입니다 .
2
볼스크류와 6 각 스플라인을 청소합니
다.
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 볼스크류와 6 각 스플라인 ( 각 2 개 ) 전체를
먼지가 발생하지 않는 종이 와이퍼 ( 크린룸
용 ) 등으로 오래된 구리스나 더러움을 제거합
니다 .
57347- K MG-00
n
요점
청소 작업시에는 볼스크류의 리드 홈도 깨끗하게 닦아 주십
시오 . 또한 , 이물질의 발생 여부도 확인합니다.
3
컨베이어를 최소폭으로 합니다 .
1. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어폭 ]
버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」변경 화면을
표시합니다 .
3. 「변경후의 컨베이어폭」에 컨베이어의 최소폭
(50mm) 을 입력하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
4
나머지 부분을 청소합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. Step2 에서 청소한 나머지 다른 부분을 종이
와이퍼로 닦아냅니다 .
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컨베이어 폭의 변경
Step1
[컨베이어 폭] 버튼 컨베이어의 최대폭을 입력
볼스크류와 6각 스플라인의 청소
Step 2
종이 와이퍼
볼스크류
6각 스플라인
나머지 부분의 청소
Step 4
나머지 부분을 닦아낸다
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3
5
구리스를 도포합니다 .
1. 컨베이어를 최소폭으로 한 상태에서 , 보호
장갑을 낀 손에 지정 구리스 (NSL) 를 묻혀서
볼스크류와 6 각 스플라인의 표면 및 리드 홈
부분에 균일하게 도포해 주십시오 .
2. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
3. Step1과 같이 컨베이어를 최대폭으로 합니다.
e
4. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
5. 상기에서 도포한 나머지 다른 부분에 구리스
를 도포합니다 .
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6
구리스를 스며들게 합니다 .
1. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
2. Step1, Step3 과 같은 식으로 컨베이어를
최대 - 최소폭으로 수차례 반복해서 구리스를
스며들게 합니다 .
7
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 볼스크류와 6 각 스플라인의 단면에 고여 있는
여분의 구리스를 닦아 냅니다 .
구리스의 도포
Step 5
구리스를 균일하게 도포
3-37
3
5.3.2 W 축 가이드의 청소와 급유
1
컨베이어를 최대폭으로 합니다 .
1. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어폭 ]
버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」변경 화면을
표시합니다 .
2. 「변경후의 컨베이어폭」에 컨베이어의 최대폭
을 입력하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
58308-KMG-00
참고
컨베이어의 최대폭은 표준사양으로 460mm 이며 ,
sATS15 를 겸비하고 있을 경우는 , 360mm 입니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. 가이드 (2 개 ) 전체를 먼지가 발생하지 않는
종이 와이퍼 ( 크린룸 용 ) 등으로 오래된 구리
스나 더러움을 제거합니다 .
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3
컨베이어를 최소폭으로 합니다 .
1. 장비의 안전 커버를 닫고 , 비상정지 상태를
해제합니다 .
2. [ 장치 ]-「컨베이어」화면의 [ 컨베이어폭 ]
버튼을 눌러서 ,「컨베이어폭」변경 화면을
표시합니다 .
3. 「변경후의 컨베이어폭」에 컨베이어의 최소폭
(50mm) 을 입력하고 [OK] 버튼을 누릅니다 .
컨베이어폭이 지정된 폭으로 변경됩니다 .
4
나머지 부분을 청소합니다 .
e
1. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
2. Step2 에서 청소한 나머지 다른 부분을 종이
와이퍼로 닦아냅니다 .
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컨베이어 폭의 변경
Step1
[컨베이어 폭] 버튼 컨베이어의 최대폭을 입력
가이드의 청소
Step 2
종이 와이퍼
가이드
나머지 부분의 청소
Step 4
나머지 부분을 닦아낸다