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제 4 장 옵 션부의 유지보수 1 . 이오나 이저 4- 1 1 . 1 이오나 이저 방전침의 청 소 ( 매월 ) 4- 2 1 .2 이오 나이 저 방전 침의 교환 (2 년 ) 4- 3 2. UPS( 무정전 전원장치 ) 4- 4 2. 1 UPS 배터리의 교환 (3 년 ) 4-4 3. 노즐 스테이션 4- 5 3. 1 노즐 스 테이션 센 서의 상 태확 인과 청소 ( 1 년 ) 4-5 4. sA TS …

1.2 노즐의 청소 3-3

1.2.1 노즐 스프링의 청소와 급유 3-3

1.2.2 노즐 에어경로의 청소 3-4

1.2.3 노즐 선단부의 청소 3-4

1.2.4 ANC 노즐 탈장착 툴에 대해서 3-5

1.3 멀티 카메라 조명 보호 글래스의 청소 3-8

2. 매월 3-9

2.1 X 축 3-10

2.1.1 X 축 볼스크류의 청소와 급유 3-10

2.1.2 X 축 가이드의 청소와 급유 3-12

2.2 Y 축 3-13

2.2.1 Y 축 볼스크류의 청소와 급유 3-13

2.2.2 Y 축 가이드의 청소와 급유 3-15

2.3 컨베이어부 3-16

2.3.1 컨베이어 센서의 상태

•

동작확인 3-16

2.3.2 컨베이어 센서의 튜닝 3-17

3. 3 개월 3-18

3.1 헤드 유닛 3-18

3.1.1 에어 필터의 청소와 교환 3-18

3.2 PU 축 3-19

3.2.1 PU 축 볼스크류 / 볼가이드의 청소와 급유 3-19

3.3 베이스부 3-21

3.3.1 장비 정면 흡기팬 필터의 청소 3-21

3.3.2 장비 배면의 필터 청소 3-23

4. 6 개월 3-24

4.1 카메라 조명 유닛의 청소 3-24

4.1.1 피듀셜 카메라 3-24

4.1.2 멀티 카메라 조명유닛의 청소 3-25

4.1.3 스캔 카메라의 청소 3-26

4.2 베이스부 3-27

4.2.1 컨트롤러 박스의 필터 청소 3-27

5. 1 년 3-29

5.1 헤드 유닛 3-29

5.1.1 스플라인 샤프트내의 청소 3-29

5.2 컨베이어 3-31

5.2.1 컨베이어 벨트의 점검과 가이드

•

풀리의 청소 3-31

5.3 기판 반송부의 W 축 3-35

5.3.1 W 축 볼스크류 /6 각 스플라인의 청소와 급유 3-35

5.3.2 W 축 가이드의 청소와 급유 3-37

5.4 베이스부 3-39

5.4.1 에어 / 미스트 필터 및 컵의 청소 3-39

6. 2 년 3-41

6.1 이젝터용 BIT 의 교환 3-41

제 4 장 옵션부의 유지보수

1. 이오나이저 4-1

1.1 이오나이저 방전침의 청소 ( 매월 ) 4-2

1.2 이오나이저 방전침의 교환 (2 년 ) 4-3

2. UPS( 무정전 전원장치 ) 4-4

2.1 UPS 배터리의 교환 (3 년 ) 4-4

3. 노즐 스테이션 4-5

3.1 노즐 스테이션 센서의 상태확인과 청소 (1 년 ) 4-5

4. sATS15 의 유지보수 4-7

4.1 일상 점검 4-8

4.1.1 팔레트 및 세팅 상태의 확인 4-8

4.2 매월 4-10

4.2.1 랙과 가이드 레일의 확인 4-10

4.2.2 AZ 축 볼스크류 / 볼가이드의 청소와 급유 4-11

4.3 6 개월 4-13

4.3.1 AH 축 가이드의 청소와 급유 4-13

제 5 장 급유개소 일람

1. 급유준비 5-1

1.1 적용 구리스 5-1

1.2 구리스건 5-1

2. 본체의 급유개소와 주기 5-2

2.1 X 축 5-2

2.2 Y 축 5-3

2.3 W 축 5-4

2.4 PU 축 5-5

3. sATS15 의 급유개소와 주기 5-6

3.1 AZ 축 5-6

3.2 AH 축 5-7

제 6 장 소모품의 교환

1. 노즐 6-1

1.1 노즐 선단부와 스프링의 교환 6-1

1.2 노즐 O 링의 교환 6-2

2. 노즐 판스프링 6-3

2.1 노즐 판스프링의 교환 6-3

3. 헤드 유닛 6-5

3.1 밸브의 교환 6-5

4. 컨베이어 6-7

4.1 컨베이어 벨트의 교환 6-7

부록

1. 사양 A-1

1.1 에어압 조정부 A-1

1.2 전원 접속부 A-2

1.3 기기간 입출력 커넥터 A-3

1.3.1 PREVIOUS INTERFACE A-3

1.3.2 NEXT INTERFACE A-4

2. 보수 부품 A-5

2.1 YSM10 의 보수부품 리스트 A-5

2.2 sATS15 의 보수부품 리스트 A-9