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3-12 3 2. 1 .2 X 축 가 이드의 청소와 급 유 1 작 업 준비를 합니다 . 1 . 손목 시계 , 자 기 ID 카드 등 , 자 력 에 영 향을 받는 물건 은 전부 빼 둡 니 다 . e 2. 비 상정 지 버 튼을 누 르고 , 장비 의 안전 커 버 를 오 픈 합니 다 . 3. 이 동 핸 들을 잡 고 , 헤 드 유 닛 을 앞쪽 으로 이 동 시 킵니 다 . 4. 사 각 건 을 헤 드 유 …
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3
4
구리스를 주입합니다 .
1. 우측그림과 같이 구리스 니플이 보이도록 헤드
유닛을 오른쪽으로 이동시킵니다 .
2. 3 군데의 구리스 니플 중 , 가운데가 볼스크류
의 니플입니다 . 구리스 건 ( 표준타입 ) 을 사용
해서 구리스 니플에 지정 구리스를 주입해 주
십시오 .
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n
요점
새로운 구리스가 틈새로부터 스며 나올때까지 주입합니다.
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
1. 이동 핸들을 잡아서 헤드 유닛을 왼쪽으로
이동시킵니다 .
2. 볼스크류 및 볼스크류 단면에 고여 있는 여분
의 구리스를 닦아냅니다 .
3. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽
의 볼스크류 및 볼스크류 단면에 고여있는
여분의 구리스도 닦아 주십시오 .
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6
워밍업을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 비산방지 커버를 원상태로 장착합니다 .
3. 장비의 커버를 닫고 , 비상정지를 해제합니다 .
4. 「셋업」화면의 [ 워밍업 ] 버튼을 눌러서 8 분
정도 워밍업을 해 주십시오 .
7
구리스의 상태를 확인합니다 .
e
1. 워밍업 정지후 , 비상정지 버튼을 누르고 장비
의 안전 커버를 오픈합니다 .
2. 비산방지 커버를 탈착하고 볼스크류 및 볼스크
류 단면에 고여있는 구리스를 닦아 주십시오 .
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step6~7 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어 날릴
경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
8
비산방지 커버를 원상태로 장착합니다 .
구리스의 주입
Step 4
구리스 니플 (중앙)
구리스 건 (표준타입 노즐)
여분의 구리스 닦아내기
Step 5
여분의 구리스
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3
2.1.2 X 축 가이드의 청소와 급유
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을 받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
e
2. 비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를 오픈합니다 .
3. 이동 핸들을 잡고 , 헤드 유닛을 앞쪽으로 이동시킵니다 .
4. 사각건을 헤드 유닛의 밑에 깔아 둡니다 .
2
가이드를 청소합니다 .
1. 이동 핸들을 잡아서 헤드 유닛을 한쪽으로
이동시킵니다 .
2. 가이드 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이퍼
( 크린룸 용 ) 등으로 오래된 구리스와 더러움
을 닦아 주십시오 .
3. 헤드 유닛을 반대쪽으로 이동시켜서 반대쪽의
가이드도 닦아 주십시오 .
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3
구리스를 주입합니다 .
구리스건 ( 표준타입 노즐 ) 을 사용해서 , X 축
가이드용 구리스 니플 ( 합계 4 군데 ) 에 지정
구리스 (NSL) 를 주입합니다 .
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4
구리스를 스며들게 합니다 .
손으로 헤드 유닛을 수차례 좌우로 움직여서 ,
구리스가 가이드에 스며들게 합니다 .
n
요점
축이 움직이면 니플로부터 주입한 구리스가 가이드부에
스며 나옵니다 .
5
여분의 구리스를 닦아냅니다 .
가이드 양단부에 남아 있는 구리스를 닦습니다 .
6
재차 구리스를 주입합니다 .
Step3~5 의 작업을 두차례 추가해서 반복 실시해
주십시오 . 가이드 전체에 구리스가 도포되어 있는
것을 육안으로 확인합니다 .
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워밍업 운전을 합니다 .
1. 깔아둔 사각건을 제거합니다 .
2. 장비의 커버를 닫고 , 비상정지를 해제합니다 .
3. 「셋업」화면의 [ 워밍업 ] 버튼을 눌러서 8 분
정도 워밍업을 해 주십시오 .
8
구리스의 상태를 확인합니다 .
e
1. 워밍업 정지후 , 비상정지 버튼을 누르고 장비
의 안전 커버를 오픈합니다 .
2. 가이드 단면에 고여있는 구리스를 닦아냅니
다.
c
주의
구리스 고임이 없어질 때까지 Step7~8 을 반복해 주십시오 .
구리스의 고임이 남아있는 채로 생산을 하면 구리스가 튀어 날릴
경우가 있으므로 주의해 주십시오 .
가이드의 청소
Step 2
종이 와이퍼
가이드
구리스의 주입
Step 3
구리스건 (표준타입 노즐)
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3
2.2 Y 축
Y 축의 점검•청소•급유방법에 대해서 설명합니다. 급유개소와 급유형태에 관해서는 , 「제 5 장 급유개소 일람」
을 참조해 주십시오 . 구리스건 ( 표준타입 노즐과 굽은타입 노즐 ) 과 지정 구리스 (NSL) 를 준비해 주십시오 .
2.2.1 Y 축 볼스크류의 청소와 급유
1
작업 준비를 합니다 .
1. 손목시계 , 자기 ID 카드 등 , 자력에 영향을
받는 물건은 전부 빼 둡니다 .
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2
.
비상정지 버튼을 누르고 , 장비의 안전 커버를
오픈합니다 .
3. 사각건을 Y 축 부근에 깔아 둡니다 .
2
구리스 비산방지 커버를 탈착합니다 .
1. 이동 핸들을 잡고 , 헤드 유닛을 앞쪽으로 이동
시키고 , 육각렌치 (4) 로 뒤쪽의 구리스 비산방
지 커버의 고정볼트 (4 개 ) 를 분리합니다 .
2. 재차 헤드유닛을 뒤쪽으로 이동시키고 , 육각렌
치 (4) 로 앞쪽의 구리스 비산방지 커버의
고정볼트 (4 개 ) 를 분리합니다 .
3. 구리스 비산방지 커버를 앞쪽 방향으로 당겨서
탈착합니다 .
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참고
Y 축의 구리스 비산방지 커버를 장착할 때에는 , 상기의
반대 순서로 작업해 주십시오 .
3
볼스크류부를 청소합니다 .
1. 볼스크류 전체를 먼지가 나지 않는 종이 와이
퍼 ( 크린룸용 ) 로 오래된 구리스와 더러움을
닦습니다 .
2. 헤드 유닛을 앞쪽으로 이동시켜서 , 반대쪽의
볼스크류도 닦습니다 .
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요점
청소 작업시에는 볼스크류의 홈 부분도 깨끗하게 닦아 주십
시오 . 또한 , 이물질의 발생 여부도 확인하여 주십시오 .
비산방지 커버의 탈착
Step 2
커버 고정볼트
커버 고정볼트비산방지 커버
볼스크류의 청소
Step 3
종이 와이퍼
볼스크류