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1-9 1 2.3 需更换的零部件 本手册所指需更换的零部件是指失去功效 ( 发生故障 ) 会使机器停止运行，更换后无须对机器进行调整的零部件。 本机中下列零部件的更换方法，将在后述的章节中作详细介绍。 2.3.1 MU 贴装头 需更换的零部件 MU贴装头(此图为拆下安全盖、拔掉插头与输气管后的图) 切换阀 排气阀 接头 过滤器侧的接头 55103-N5-00 名称 零部件名 零部件编号 备注 排气阀 VA LV E KLF-M7152…
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2.2.3 FL 贴装头
■ 易耗件 ( 随机附件 )
易耗件 (FL贴装头)
随机附件
空气滤芯
吸嘴弹簧片
滚轮
垫圈
滚轮锁组件
吸嘴弹簧片
固定用螺钉
55109-N5-00
名称 零部件名 零部件编号 备注
吸嘴弹簧片
PLATE SPRING KV7-M8171-00X
吸嘴弹簧片固定用螺钉
BOLT HEX, SOCKETHEAD 90115-20J004
垫圈
WASHER, PLAIN 90990-28J002
空气滤芯
FILTER KLF-M7156-00X
■ 易耗件 ( 选购件 )
名称 零部件名 零部件编号 备注
60X 系列
标准吸嘴
NOZZLE, 61A ASSY KV7-M7710-A2X 0402
专用
NOZZLE, 601A ASSY KV7-M7710-A2X 0603
〜
1005
规格的元件
NOZZLE, 602A ASSY KV7-M7720-A2X 1608
〜
3216
规格的元件
NOZZLE, 603A ASSY KV7-M7730-00X SOP
等
NOZZLE, 64A/604A ASSY KV7-M7740-A0X QFP
等(小于
32mm×32mm
的元件 )
NOZZLE, 65A/605A ASSY KV7-M7750-A0X
大型元件
(
32mm×32mm
〜
45×100mm
的元件 )
60X 系列
非标准吸嘴
NOZZLE, 66A/606A ASSY KV7-M7760-00X
圆柱型元件 ( 带
V
切槽 )
滚轮锁组件
LOLLER LOCK ASSY KLF-M74A0-00X
吸嘴基座部 ( 含滚轮 ) 带O型圈
滚轮
ROLLER KV7-M81D4-00X
吸嘴安装部 必须成对更换
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注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。
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2.3 需更换的零部件
本手册所指需更换的零部件是指失去功效 ( 发生故障 ) 会使机器停止运行，更换后无须对机器进行调整的零部件。
本机中下列零部件的更换方法，将在后述的章节中作详细介绍。
2.3.1 MU 贴装头
需更换的零部件
MU贴装头(此图为拆下安全盖、拔掉插头与输气管后的图)
切换阀
排气阀
接头
过滤器侧的接头
55103-N5-00
名称 零部件名 零部件编号 备注
排气阀
VALVE KLF-M7152-00X MU
贴装头用
切换阀
VALVE KLF-M7153-00X MU
贴装头用
接头
JOINT KLF-M7154-00X
过滤器侧的接头
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
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注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。
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2.3.2 HS 贴装头
需更换的零部件
HS贴装头(此图为拆下安全盖、拔掉插头与输气管后的图)
切换阀
真空电磁阀
(内侧3个)
真空泵主阀
过滤器侧的接头
排气压力切换阀
55110-N5-00
名称 零部件名 零部件编号 备注
切换阀
VALVE, SW. UNIT ASSY KLF-M7061-A1X
真空泵主阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
排气压力切换阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
真空电磁阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
内侧3个
过滤器侧的接头
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
c
注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。