YSM40_Mainte_C - 第50页
1-10 1 2.3.2 HS 贴装头 需更换的零部件 HS贴装头(此图为拆下安全盖、拔掉插头与输气管后的图) 切换阀 真空电磁阀 (内侧3个) 真空泵主阀 过滤器侧的接头 排气压力切换阀 55110-N5-00 名称 零部件名 零部件编号 备注 切换阀 V AL VE, SW . UNIT ASSY KLF-M7061-A1X 真空泵主阀 EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X 排气压力切换阀 EJECTOR…
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2.3 需更换的零部件
本手册所指需更换的零部件是指失去功效 ( 发生故障 ) 会使机器停止运行，更换后无须对机器进行调整的零部件。
本机中下列零部件的更换方法，将在后述的章节中作详细介绍。
2.3.1 MU 贴装头
需更换的零部件
MU贴装头(此图为拆下安全盖、拔掉插头与输气管后的图)
切换阀
排气阀
接头
过滤器侧的接头
55103-N5-00
名称 零部件名 零部件编号 备注
排气阀
VALVE KLF-M7152-00X MU
贴装头用
切换阀
VALVE KLF-M7153-00X MU
贴装头用
接头
JOINT KLF-M7154-00X
过滤器侧的接头
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
c
注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。
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2.3.2 HS 贴装头
需更换的零部件
HS贴装头(此图为拆下安全盖、拔掉插头与输气管后的图)
切换阀
真空电磁阀
(内侧3个)
真空泵主阀
过滤器侧的接头
排气压力切换阀
55110-N5-00
名称 零部件名 零部件编号 备注
切换阀
VALVE, SW. UNIT ASSY KLF-M7061-A1X
真空泵主阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
排气压力切换阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
真空电磁阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
内侧3个
过滤器侧的接头
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
c
注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。
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2.3.3 FL 贴装头
切换阀
过滤器侧的接头
需更换的零部件
FL贴装头(此图为拔掉插头、输气管后的图)
55111-N5-00
名称 零部件名 零部件编号 备注
切换阀
VALVE KLF-M7153-00X
过滤器侧的接头
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
c
注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。