YSM40_Mainte_C - 第51页
1-1 1 1 2.3.3 FL 贴装头 切换阀 过滤器侧的接头 需更换的零部件 FL贴装头(此图为拔掉插头、输气管后的图) 55111-N5-00 名称 零部件名 零部件编号 备注 切换阀 VA LV E KLF-M7153-00X 过滤器侧的接头 FIL TER JOINT KLF-M7155-00X c 注意 本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时…
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2.3.2 HS 贴装头
需更换的零部件
HS贴装头(此图为拆下安全盖、拔掉插头与输气管后的图)
切换阀
真空电磁阀
(内侧3个)
真空泵主阀
过滤器侧的接头
排气压力切换阀
55110-N5-00
名称 零部件名 零部件编号 备注
切换阀
VALVE, SW. UNIT ASSY KLF-M7061-A1X
真空泵主阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
排气压力切换阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
真空电磁阀
EJECTOR, UNIT ASSY KLF-M7071-A1X
内侧3个
过滤器侧的接头
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
c
注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。
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2.3.3 FL 贴装头
切换阀
过滤器侧的接头
需更换的零部件
FL贴装头(此图为拔掉插头、输气管后的图)
55111-N5-00
名称 零部件名 零部件编号 备注
切换阀
VALVE KLF-M7153-00X
过滤器侧的接头
FILTER JOINT KLF-M7155-00X
c
注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。
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2.3.4 全机型通用
名称 零部件名 零部件编号 备注
传送带 ( 传送用 )
BELT, CONVEYOR 1 KLF-M9110-00X
轨道
1
侧、长
1180mm
BELT, CONVEYOR 2 KLF-M9117-00X
轨道
2
侧、长
1256mm
排气站用过滤器
INLINE FILTER KGR-M9934-01X
控制箱防尘过滤网
MEDIA FILTER KLA-M53A9-00X
系统控制箱
控制箱防尘过滤网
FILTER KLA-M53A8-00X
伺服控制箱
机顶风扇用过滤网
FILTER
，
TOP COVER FAN KLF-M130J-00X
电路保护器风扇用过滤网
FILTER, CP, FAN KLF-M115J-00X
背面底座风扇用过滤网
FILTER, REAR BASE FAN KLF-M131J-00X
滤芯
FILTER ELEMENT KLF-M8502-50X
空气滤芯
滤芯
MIST FILTER ELEMENT KLF-M8502-70X
油雾滤芯
真空泵备用套件
PUMP SPARE SET
KLF-M86P0-00X
碗形塞等
c
注意
本手册中所记载的零部件 ( 零部件编号 ) 为发行时的零部件 ( 零部件编号 )。零部件编号有不经预告就更改的情况。订购时，请务必
向代理商确认。