3732445-5F_VT-S500_MaintenanceManual(C)PDFA.pdf - 第11页
10 关联手册的种类与内容 关联手册如下所示 。 VT - S500 操作的相关说明 （ 操作 ） ● 基板检查装置 VT -S500 操作手册 ..... ...... ...... ...... ...... ... .... ...... ...... ...... ...... .... .. ...... ...... . (1679912- 7 ) 记载了 V T -S5 00 的 操作方法等 。 VT - S500 的日常…
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通知
该装置适用于 A 级用途（工业环境），在居住环境下使用该装置可能引发电磁干扰，请进行必要的处
理。
该系统中各部分作为单体部件时可能不符合 EC 指令条列，只能使用于该装置中、不能作为其他用途。
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关联手册的种类与内容
关联手册如下所示。
VT-S500 操作的相关说明（操作）
●基板检查装置 VT-S500 操作手册
............................................................................... (1679912-7)
记载了 VT-S500 的操作方法等。
VT-S500 的日常保养说明以及硬件、基本操作的相关说明
● 基板检查装置 VT-S500 保养手册
.......................................................................... (3732445-5)
记载了 VT-S500 的日常检修・定期检修、保养方法、硬件与基本操
作的相关内容。
VT-S500 检查原理的相关说明
● VT-S500 检查原理手册
............................................................................ (3732393-9)
记载了 VT-S500 的检查原理。
VT-S500 编程说明
● VT-S500 编程手册
............................................................................ (9066685-6)
记载了 VT-S500 编程系统的操作方法、检查程序的编程方法等
本手册
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本手册的使用方法
本手册包含以下章节。
第1章 概要
阐述了VT-S500 的概要、系统结构
第2章 装置仕様
阐述了VT-S500的装置规格、接口规格
第3章 安装・转移
阐述了安装及转移VT-S500时的注意事项、电源及空气连接方法
第4章 日常运行
阐述了有关VT-S500日常运转的情况
第5章 日常检修
阐述了有关VT-S500的日常检修
第6章 定期检修与保养
阐述了有关VT-S500的定期检修、配件交换、调整等。
第7章 故障排除
阐述了VT-S500发生异常时的处理方法
第8章 保管・废弃
阐述了VT-S500的包干、废弃方法