3732445-5F_VT-S500_MaintenanceManual(C)PDFA.pdf - 第33页

2.2 检查对象基板 2-7 基板厚度 1.6mm 基板厚度 2.0mm

第 2 章装置规格

2-6

基板厚度 0.8mm

基板厚度 1.2mm

2.2 检查对象基板

2-7

基板厚度 1.6mm

基板厚度 2.0mm

第 2 章装置规格

2-8

基板厚度 3.0mm

基板厚度 4.0mm