3732445-5F_VT-S500_MaintenanceManual(C)PDFA.pdf - 第34页
第 2 章 装置 规 格 2-8 基板 厚度 3.0mm 基板 厚度 4.0mm

2.2 检查对象基板
2-7
基板厚度 1.6mm
基板厚度 2.0mm

第 2 章 装置规格
2-8
基板厚度 3.0mm
基板厚度 4.0mm

2.2 检查对象基板
2-9
2.3 检查数据
本装置的数据进行说明。
检查程序
最大检查元件数
10,000 元件/基板
最大单板数
300 单板