3732445-5F_VT-S500_MaintenanceManual(C)PDFA.pdf - 第35页
2.2 检查对象基板 2-9 2.3 检查数据 本装置的数据 进 行 说 明。 检查程序 最大检查元件数 10,000 元件 ／基板 最大单板数 3 00 单板
第 2 章 装置规格
2-8
基板厚度 3.0mm
基板厚度 4.0mm
2.2 检查对象基板
2-9
2.3 检查数据
本装置的数据进行说明。
检查程序
最大检查元件数
10,000 元件／基板
最大单板数
300 单板
第 2 章 装置规格
2-10
2.4 上下游 I/F
・ 上下游Ｉ／Ｆ适用于检查及路径模式时。
・ 上下游Ｉ／Ｆ信号用于检查装置与上下游装置间基板的交接时序及检查结果的传递。
2.4.1 信号时序
时序图(标准模式)
（1）搬入方法（上游装置搬入基板）
基板检查装置处于可以搬入基板的状态时（从发出检查指令到搬入口传感器通过(传感器关
闭)），向上游输出READY信号。（开始输出READY信号的同时，传送带开始运转、直至到位传感
器ON。）
检查装置处于不可搬入基板的状态时（可搬入基板状态之外的状态），向上游输出 BUSY 信号（READY
信号 OFF）。
（2）搬出方法（搬出基板至下游装置）
基板检查装置处于可以搬出基板的状态时，确认下游的READY信号后再开始搬出。
输送机上没有基板、下游确认已经接收到基板后，搬出动作完成。
※标准模式情况下，判定为良品基板时输出结果 A、判定为不良品基板时输出结果 B。
READY
BUSY
下游 READY
(下游装置输出的信号)
ON
OFF
传送带开始运转
传送带停止
搬出结束
结果 A 或是结果 B 的
输出信号※
ON
OFF
ON
OFF
检查结束
READY
BUSY
上游 READY
( 输出给上游
装置的信号)
ON
OFF
搬入口传感器通过
传送带
运转
停止
到位传感器
ON
下游装置_基板接收信号