3732445-5F_VT-S500_MaintenanceManual(C)PDFA.pdf - 第54页

第 4 章日常运行 4-6 4.2 打开或关闭正面门基板取出、检查等作业需要打开正面门进行操作。请如下方法打开正面门。注意偶尔会发生受伤危险。开关正面门时，务必双手握住把手将门开、关到位。注意偶尔会发生受伤危险。在开关正面门时，请小心不要夹住手指。使用注意正面门打开后，联锁装置开始工作。在装置运行中，除搬出基板等必要情况之外，请勿打开正面门。使用注意从正面门搬入基板时，请勿触碰装…

4.1 上电与断电

4-5

点击［是］。

保存系统数据后，退出运行。

自动关断装置电源。

请确保单元前面的操作面板上的

[POWER ON]

按钮是关闭的。

关闭主断路器在前面的设备，请您将关闭。设备关闭是完整的。

第 4 章日常运行

4-6

4.2 打开或关闭正面门

基板取出、检查等作业需要打开正面门进行操作。请如下方法打开正面门。

注意

偶尔会发生受伤危险。

开关正面门时，务必双手握住把手将门开、关到

位。

注意

偶尔会发生受伤危险。

在开关正面门时，请小心不要夹住手指。

使用注意

正面门打开后，联锁装置开始工作。

在装置运行中，除搬出基板等必要情况之外，请勿打开正面门。

使用注意

从正面门搬入基板时，请勿触碰装置内部的元件。

使用注意

将头部伸入装置内时，请小心不要撞到顶部框架。

握住粘贴于正面门上的

PULL

标签位置打开或关闭正面门。

把手位置

5-1

5 日常检查

5.1 上电前的检查 .................................................. 5-2

5.1.1 装置外围检查 ............................................. 5-2

5.1.2 装置内部的检查 .......................................... 5-2

5.1.3 确认供电电源 ............................................. 5-3

5.2 上电后的检查 .................................................. 5-4

5.2.1 外围设备的检查 .......................................... 5-4

5.2.2 紧急停止功能检查 ...................................... 5-4

5.2.3 运行中的异常检查 ...................................... 5-4

5.3 日常检查确认表 ............................................... 5-5