3732445-5F_VT-S500_MaintenanceManual(C)PDFA.pdf - 第55页

5-1 5 日常检查 5.1 上电前的检查 ................................ .................. 5-2 5.1.1 装置外围检查 ............................................. 5-2 5.1.2 装置内部的检查 .......................................... 5-2 5.1.3 确认供电电源 .....…

第 4 章日常运行

4-6

4.2 打开或关闭正面门

基板取出、检查等作业需要打开正面门进行操作。请如下方法打开正面门。

注意

偶尔会发生受伤危险。

开关正面门时，务必双手握住把手将门开、关到

位。

注意

偶尔会发生受伤危险。

在开关正面门时，请小心不要夹住手指。

使用注意

正面门打开后，联锁装置开始工作。

在装置运行中，除搬出基板等必要情况之外，请勿打开正面门。

使用注意

从正面门搬入基板时，请勿触碰装置内部的元件。

使用注意

将头部伸入装置内时，请小心不要撞到顶部框架。

握住粘贴于正面门上的

PULL

标签位置打开或关闭正面门。

把手位置

5-1

5 日常检查

5.1 上电前的检查 .................................................. 5-2

5.1.1 装置外围检查 ............................................. 5-2

5.1.2 装置内部的检查 .......................................... 5-2

5.1.3 确认供电电源 ............................................. 5-3

5.2 上电后的检查 .................................................. 5-4

5.2.1 外围设备的检查 .......................................... 5-4

5.2.2 紧急停止功能检查 ...................................... 5-4

5.2.3 运行中的异常检查 ...................................... 5-4

5.3 日常检查确认表 ............................................... 5-5

第 5 章日常检查

5-2

5.1 上电前的检查

该装置上电前请务必进行此项操作。

5.1.1 装置外围检查

 紧急停止开关的周围是否有障碍物。

确认紧急停止开关周围是否有阻碍操作的障碍物。

紧急停止开关是在发生紧急情况时紧急停止装置运行时使用。如果周围有阻碍操作的障碍物，

将影响紧急停止操作而引发事故，所以，请清除紧急停止开关周围的障碍物。

 装置周围是否整洁

确认装置周围是否有障碍物。

为了作业安全，请注意整理整顿装置周边环境。

5.1.2 装置内部的检查

注意

偶尔会发生受伤危险。

开关正面门时，请务必双手握住把手将门开、关

到位，请不要将手指伸入内部。

 装置内部是否有杂物、灰尘

确认装置内部是否有杂物及灰尘。

杂物及灰尘过多时可能导致装置误动作及引发故障，请用抹布清除干净。

 装置内部是否有异物

确认装置内部是否有基板、工具等异物。

在装置内部残留有异物情况下运行或使用、可能导致该装置故障，发现有异物后请及时清理。

 传送带是否破损、脱落

确认装置内的传送带是否破损、脱落。

如果传送带出现破损、或是脱落，将不能正常搬送基板。如果出现异常请参阅 P6-2「6.1.2エラー! 参

照元が見つかりません。传送带的更换与调整」。