RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11 - 第833页
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制 9-2 9- 2 手动控制的启动 与退出 9-2- 1 启动手动控制 从菜单选择 [ 维护 ] → [ 手动 控制 ] ，即可 显示如下 的手动控制初始 画面。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-1
第
9
章
手动控制
9-1 概要
手动控制，是指为确认各部位的运行，或检查传感器ON/OFF（开，关）的项目。
使用的主要功能有：基板的准备(请参见「2-7-1 基板的设置」)，Head的移动，激光的确认等。
还可检查LED是否发生故障(一边使其点亮、灭灯，一边进行检查)。
主菜单
子菜单
内容
1
Head
1 Head 控制
以各 Head 为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示。
各 Head 的 Z，
θ
轴移动控制，坐标显示
各
Head
的真空控制，吹气控制，压力值显示
2 Head 设备控制
以各 Head 装置(OCC，坏板标记传感器，HMS)
为基准的 XY 轴移动控制，坐标显示
各 Head 装置的控制，传感器状态显示
3 激光／传感器控制
各 Head 的真空控制，真空开／关显示
各 Head 的 Z 轴移动控制，坐标显示
算法切换，结果显示，
图像显示边缘检查，边缘检查显示
4 EPV 控制
显示以各 Head 为基准的 XY 轴移动控制、坐标
EPV 拍照、保存拍照图像
2
传送系
1 传送控制
基板传送，自动调整基板宽度，传送马达控制，
支撑台控制，信号的状态显示
2
基板条形码阅读器控制
条形码控制，自动识别传送控制
3
供应设备
1 电动送料器
返回原点，正转（反转）1
间距传送，任意量传送，
正转（反转）步进动作，属性设定，切割控制
2
MTS 控制
托盘控制，状态显示
4
其他
1
ATC 控制
ATC 滑板控制，传感器状态显示，吸嘴吸取控制
2
信号灯控制
信号灯控制，警报器控制，状态显示
3
其他控制
LED 控制，真空控制，状态显示，真空泵控制
4
其它传感器
气压降低传感器等的状态显示
5
驱动器状况
X
，
Y
，
Z
，
θ
轴驱动器的状态显示
6
伺服状态
伺服状态显示
7 元件验证控制 探针控制，元件计测，状态显示
8
SOT
方向检查台控制
真空控制，状态显示
9
切割控制
切割控制
10
VCS
控制
VCS
控制
11 转印装置控制
控制转印装置
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-2
9-2 手动控制的启动与退出
9-2-1 启动手动控制
从菜单选择[维护]→[手动控制]，即可显示如下的手动控制初始画面。
第 2 部 功能详解篇 第 9 章 手动控制
9-3
9-2-2 退出手动控制
在信息区域选择[退出]，或按下画面右上的关闭按钮[×]，即可退出手动控制。
「是」：执行 I/O 安全方向设定之后退出。例如，Head 有吸嘴时，应把吸嘴返回 ATC 后
再退出手动控制画面。
「否」：返回手动控制画面
警告
选择「确定」后，轴会移动并开始执行各 I/O 的安全方向设置。
在选择「确定」前，请务必确认无人在进行装置内部的作业。此外，为了
防止人身伤害，在运行过程中，切勿将手放入装置内部，也不要将脸和头
靠近装置。