RX-6 使用说明书 用户使用 Rev11 - 第929页
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能 11 - 14 11 -3-3-4- 2 设置值的保存及退出 在 [ Head 偏移量 ] [ 激光 / 传感高度 ] [V CS 偏移量 ] 的各设置 画面中，有 ＜确定＞ 及＜ 取消 ＞按钮。即 使选择＜ 确定 ＞，此时也 不会保存。 各项目的设置 值测量后 ，点击 画面右上 的关闭按钮 [ × ] 、 或按下 信息区域的退出 按钮，会显示 是否保 存 的提问信息 。 此时选择＜是…
第 2 部 功能详解篇 第 11 章 自己诊断功能
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设置方法
准备完成后，在按[确认]按钮的同时，按照[操作]显示的指示进行操作，即可自动取得数值。
(1) 完成设置所需操作１）～6），说明如下。
1) 吸嘴分配
测量 Head 偏移量，请使用 506 号吸嘴。
2) 准备夹具
将夹具放在裸芯片工作台（Bare Station）的中心框里。
3) 吸取夹具
吸取裸芯片工作台（Bare Station）的夹具。如果发生错误，请重新装载夹具。
4) 通过激光校准识别夹具
通过激光校准识别夹具。
5) 算出装配位置及装配角度
从 4)算出的结果，算出激光校准装配角度及 Head 装配位置。
6) 归还夹具
将夹具归还到 Station（工作台）。
测量结束后，进度条会变为 100%。
按[确定]按钮，测量值会变为有效，但此时还不会被保存/设置。
退出应用程序时才会被设置。详情请参见「11-3-3-4-2 设置值的保存及退出」。
按[取消]按钮，测量值会无效。
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11-3-3-4-2
设置值的保存及退出
在[Head 偏移量] [激光/传感高度] [VCS 偏移量]的各设置画面中，有＜确定＞及＜取消＞按钮。即
使选择＜确定＞，此时也不会保存。
各项目的设置值测量后，点击画面右上的关闭按钮
[×]、或按下信息区域的退出按钮，会显示是否保
存的提问信息。
此时选择＜是＞即保存。
No.
选择按钮
处理
1
是
保存设置值，显示各
I/O
的安全方向设置询问提示。
2
否
使设置值无效，显示各
I/O
的安全方向设置询问提示。
警告
按[是]，轴即移动，开始各 I/O 安全方向设置。
按[是]前，请务必确认没有人正在进行装置内部的作业。为了防止人身伤
害，运行中切勿将手伸入装置内部，也不要将脸和头靠近装置。
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11-3-3-5 激光/传感高度
从自己诊断菜单选择[激光/传感高度]，即显示激光/传感高度的对话框。
设置从基板表面看到的各 Head 的 Z 轴原点位置的激光/传感测量高度。
多次发生激光识别错误时，请确认生产程序的「元件数据」，之后再设置机器设置的「ATC 吸嘴分
配」。如果仍然没有改善时，请通过本功能重新设置。
重新设置激光/传感高度后，请务必重新设置「ATC 吸嘴分配」。
(1) 保存值/计测值
保存值显示 MS 参数中设置的值，计测值显示测量的值。
显示后即刻、或未测量的 Head 不显示计测值。
计测完成后，相应 Head 的计测值会显示蓝色。
计测发生错误时，会显示红色的"Err"。
(2) Head 选择
在 Head 选择组里勾选其中的复选框选择要计测的 Head。可同时选择多个计测对象 Head。
按[全部选择]按钮，可对[F] (前)[R] (后)的各设备 Head 单元的 Head 进行全选、解除。
(3) 操作
1)进度条
显示测量的经过。测量结束后变为 100%。
2)跳过激光错误测量
勾选[跳过激光错误测量]，按[确认]按钮，即跳过激光错误。
激光识别错误、或测量结果在规定范围以外时不会显示询问提示而显示”Err”，之后如果对
象 Head 单元内有未测定的 Head，即进行该 Head 的测定动作。
如果要再次测定发生错误的 Head，请在测定完成后(进度条变为 100%后)，再次选择
Head，按下[确认]按钮。
3)[确认]按钮
按[确认]按钮后，各 Head 单元即移动到等待位置，开始计测。
详情请参见以下小项「设置方法」。
警告
按[确认]，轴即移动。
按[确认]前，请务必确认没有人正在进行装置内部的作业。为了防止人身
伤害，运行中切勿将手伸入装置内部，也不要将脸和头靠近装置。